第1包场发射扫描电子显微镜.docx

PAGE 1 第1包 场发射扫描电子显微镜 一、工作条件 1、电力供应：220V（±10%），50Hz，单相。 2、工作环境温度：15°C-25°C 3、工作环境相对湿度：≤ 60% (22°C) 二、系统组成 1.扫描电子显微镜系统由扫描电子显微镜主机、双能谱系统、冷却循环水机、变压器、主动消磁器及必要的外围设备等组成。 三、仪器应用范围 1. 扫描电镜主要用于催化剂和能源材料的表面微观形貌的高分辨表征。能够得到亚纳米分辨率图像，可对纳米区域的成分进行分析。 四、 性能指标及配置要求 注：最低一级序号为指标项。每个指标项技术说明内的要求必须全部满足，仅部分满足视为负偏离。 1.扫描电镜 序号 技术说明 1.1 电子光学系统 #1.1.1 二次电子成像分辨率：高真空模式下15 kV 时分辨率 ≤ 0.6 nm，1 kV 时分辨率 ≤ 0.7 nm； 0.5kV 时分辨率 ≤ 1 nm； #1.1.2 背散射电子 (BSE) 成像：高真空模式：15 kV时分辨率 ≤ 1.5 nm 1.1.3 加速电压： 0.01 kV－30 kV, 连续可调 1.1.4 放大倍数：最大放大倍率75X-3,000,000X, 连续可调、可随工作距离/电压变化自动补偿、校正 #1.1.5 电子枪：场发射电子枪, 束流范围1pA - 500 nA, 连续可调; 束流稳定度优于0.2%/h 1.1.6 备用电子枪1支, 存放在工厂里, 需要时发货 1.1.7 物镜光阑：4级可调, X/Y方向可以精确对中, 可自动切换光阑 1.1.8 电图像位移：±5μm，可通过控制电子束移动实现 1.1.9 自动调整功能: 自动合轴、扫描旋转补偿、自动聚焦、自动消像散; 自动调节亮度、对比度; 兼具手动调节功能 1.2 样品室 1.2.1 样品台: 5轴马达驱动, 全对中样品台, 示意图可在监视器上显示 1.2.2 样品可移动范围X ≥ 70 mm, Y ≥ 50 mm, Z ≥ 40 mm, 倾转角: -5 ～ + 70°, R = 360°可连续旋转; 分析工作距离 10 mm #1.2.3 气锁装置: 通过气锁实现样品快速更换, 可装直径100mm的样品 1.2.4 具有样品台控制功能; 配备样品室红外相机 1.2.5 备有如下功能扩展接口: Raman（拉曼）、WDS（波谱仪）、EBSD(背散射电子衍射)、冷热台等 1.3 检测器及成像模式 1.3.1 物镜上方的高位二次电子探测器, 物镜下方的低位二次电子探测器 1.3.2 可抽拉式背散射电子检测器 #1.3.3 具有减速模式功能, 偏压范围10V-5000V; 可以同时得到二次电子、背散射电子像, GB模式等 1.4 能谱仪 1.4.1 配备两个探测器, 可以联用同时采集数据, 也可以独立工作 1.4.2 电制冷无窗型探测器: 探测器活区面积100mm2, 探测器软件控制,可自动伸缩, 有自动升温保护功能; 能量分辨率MnKa保证优于127eV, 元素分析下限Li 1.4.3 电制冷超薄窗SDD型硅漂移探测器: 探测器活区有效面积80mm2, 探测器可自动伸缩; 能量分辨率MnKa保证优于127eV, 元素分析范围Be4～Cf98 1.4.4 具备零峰修正功能, 可以快速稳定谱峰，开机后无需重新修正峰位; 具备重叠谱峰分离功能; 能谱软件能够实时显示元素图像, 可实时视场追踪, 漂移矫正; 图像可自动调节对比度, 谱图有自动扣除背底功能; 配置面分布和线扫功能, 点、矩形、任意不规则区域分析 #1.4.5 有20kV定量数据库和5kV定量数据库 1.4.6 在硬件允许或者仅需升级计算机硬件的情况下，提供各软件的终身免费升级; 提供离线软件 1.5 数字图像记录系统 1.5.1 图像处理：储存分辨率最大不小于4096 x 3536像素, 扫描深度至少有8, 16位深度 1.5.2 图像记录：TIFF、 BMP或JPEG 1.6 计算机、软件及操控系统 1.6.1 电镜主机及其它生产商的各附属配件所用计算机必须使用64位操作系统；整体设备涉及的所有软件必须是64位版本 1.6.2 在硬件允许或者仅需升级计算机硬件的情况下，提供各软件的终身免费升级 1.6.3 显示器：不小于23英寸LCD显示器 1.7 真空系统 1.7.1 无油真空系统包含分子泵和离子泵; 前级可用机械泵 1.7.2 样品室真空度：高真空模式下优于≤ 10-4Pa; 电子枪真空度 ≤10-7Pa 1.7.3 离子泵专用USP, 延时200小时以上 1.8 附件 1.8.1 主动消磁器及其安装: 保证电镜安装后镜筒处交流/直流磁场强度x,y,z均小于50nT 1.8.2 各级备用光阑一套; 其它与保修期匹配的备品、备件，标准安装