扫描式电子显微镜能量散布光谱仪原理.PDF

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/量 理 (SEM/EDS, Scanning Electron Microscope /Energy Dispersive Spectrometer) 類 (OM, Optical Microscope) (TEM, Transmission Electron Microscope) (SEM, Scanning Electron Microscope) (STEM, Scanning Transmission Electron Microscope) (SPM, Scanning Probe Microscope) Page 2 類-1 Page 3 類-2 JEM-3200FSC :300kV field emission gun Page 4 歷 度 ( m ) RBC: 年 CD pits:洞 Page 5 度 1 mm =10-3 m, 1 µm =10-6 m, 1 nm=10-9 m, 1 Å=10-10 m Page 6 度 度 率 0.2mm 11 0.2 µm 2000X ~0.1 µm 3.5~10 nm 300000X 35 µm ( ) (1000X) 0.2 nm 106 X更 20 µm :SEM 率 650000X Page 7 0.006 nm

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