半导体工艺《半导体制造技术》答案.pdf

电子科技大学微电子与固体电子学院 2013 年5 月8 日 2012-2013 集成电路工艺 作业参考答案 第一章作业 1、什么叫集成电路？写出 IC 制造的５个步骤。 集成电路：电阻、电容、二极管、晶体管等多个元器件制作在一个芯片上，并具有一定功能 的电路。 集成电路制造5 步骤：硅片准备、硅片制造、硅片测试和拣选、装配和封装、终测。 2、列举集成电路的三个发展趋势及其实现手段。什么是摩尔定律？ 三个发展趋势和实现手段：芯片性能不断