电子气体化学品应用与安全培训.ppt

电子气体化学品应用与安全 本节内容 一、气体输送系统 二、化学品输送系统 三、气体化学品监测系统 四、工艺安全管理及事故案例分析 五、个人防护用品（PPE）及应急反应 六、厂务运行管理实务 一、气体输送系统 1、半导体厂常用气体分类及其输送方式 半导体厂常用气体 属性 输送方式 备注 大宗气体 N 、Ar、He、H 、O 液罐 多用于液化气体，低温液体，体积膨胀率大，会产生烟雾 长管拖车 用于大宗气体难于液化气体 集气格 用于高压难于液化气体 特殊气体 可燃气体 腐蚀性气体 毒性气体 氧化性气体 惰性气体 大宗气体：BSGS 非大宗气体：GC/GR BSGS多配置加热器，主要形式有： ISO Tank、Tube Traller、Y-Cylinder 气体输送系统 2、气柜的作用： ⑴、实现对工艺设备的连续供气：采用双瓶切换系统； ⑵、安全地输送工艺气体至工艺设备： ①、对工艺设备的安全考虑：压力调节、气体净化、吹扫； ②、对操作人员的安全考虑：柜体隔离、排风系统、报警系统、紧急切断、全自动控制系统； ③、对环境的安全考虑：工艺生产要求、气体的不同性质、当前项目预算、将来项目扩展需求。 3、气柜使用中常见问题及注意事项： ⑴、调压时不准或者不稳： 原因是减压阀具有机械滞后性，工作使用中可将调压阀调至比所需压力低一些， 气体输送系统 然后再等一会看压力是否稳定在所需压力。 ⑵、日常工作如需操作气柜，只需开窗操作，只有在换瓶时才开门! ⑶、换钢瓶时需要至少2个人共同操作，一个人操作，另一个人需要确认每一步是否正确、规范。 ⑷气源、气瓶的配管要用塑料管或者尼龙管，这样发生燃烧事故时可烧掉从而切断气源，降低危险性。 ⑸、气柜上的过流保护开关参数不可调，安装时必须垂直安装。 ⑹、SiH 等易燃气体的钢瓶最好配置Auto Guard（钢瓶接口保护器），以防止在换钢瓶时发生事故。 ⑺、对于在我们管线分布上有潜在泄露点的地方，比如焊接点等连接点，要配置带抽风的罩子，这样可以更好的对人员和设备进行保护。 气体输送系统 ⑻、气柜最好配置双瓶切换，这样可以一侧气瓶用尽，另一侧自动供气，这样可以实现对工艺设备的连续供气。 ⑼、不同特气对减压阀的选型也会有不同的要求，对于阀门的选型也是需要注意的地方。比如如果我们有阀门坏了，需要更换，就需要注意更换阀门的型号。 ⑽、过流保护开关是个非常有必要安装的部件，作用就是气体流量异常变大的时候可以把气体停掉，一般正帆都会建议客户安装过流保护开关。 二、化学品输送系统 1、化学品在半导体工艺中的作用： 清洗芯片上的杂质、微粒子； 刻蚀芯片图案； 显影芯片图案； 研磨芯片； 清洗制程设备零配件 2、常用化学品性质和分类： ⑴、酸性： 腐蚀性：H SO 、HCL、HNO 、HF、H PO 毒性：HF、Acetone 化学品输送系统 ⑵、碱性：NH OH、KOH、Developer ⑶、有机溶剂：IPA、光阻液 EKC、EBR、HMDS ⑷、氧化性：H SO 、H O ⑸、悬浮液（Slurry）：Oxlde（SS-25）、Tungsten（W-2000） 3、化学品输送系统操作安全 ⑴、化学系统运行需要的证照与认证 操作人员的安全管理非常重要，所有操作人员应具备以下资质： 压力容器操作许可证 危险化学品操作许可证 叉车操作许可证（如有使用） 化学品输送系统 ⑵、熟知化学品安全技术说明书（MSDS/CSDS） 操作人员可以从中学习到化学品的特性，毒性，危害性，中毒预防措施，紧急事故处理等。 ⑶、化学品系统的PPE使用 如酸桶更换作业时需使用的PPE：全面式呼吸器、防酸手套、防化服、安全鞋。 4、化学品输送管道材质： 酸碱类：内管PFA，外管CPVC 溶剂类：工艺管线SUS316EP，或外管SUS304+PFA内管方式 三、气体化学品监测系统 1、气体化学品监控系统关键部件 部件名称 工作原理 规格参数 电化学气体侦测器 被测气体在电解液表面反应，在电极间形成扩散电流 输出信号：继电器，4~20mA模拟量，POE网络信号；Sensor工作环境0~40℃；Sensor使用寿命2年（1年） 纸带式侦测器 被侦测气体与纸带反应产生色斑，色斑颜色深浅对光学分析产生不同结果，判断气体泄露浓度大小 输出信号：继电器，4~20mA模拟量，RS485；取样管道最长90米；工作环境要求10~40℃,20-80%rH；纸带使用寿命：3月（1月） 火焰侦测器（UV/IR） 当探测器检测到火焰产生的红外线（IR）或