公法线千分尺检定方法的总不确定度.doc

公法线千分尺检定方法的总不确定度 张黎平　梁玉红　孙德芬　于昌伍 　　以25～50mm公法线千分尺为例对其检定方法的总不确定度分析如下： 1　A类分量 　　在30.12mm处重复测量6次，数值略，得出　　　　由贝塞尔公式：　　自由度ν=n-1=5 2　B类分量 2.1　用五等量块在30.12mm处检定示值引起的标准不确定度u1　　(1)标准量块的标准不确定度　　由检定证书给出的量块的不确定度是0.80μm。取正态分布k=2.58，则u11=0.80/2.58μm=0.31μm。取相对标准不确定度，则由公式。　　(2)标准量块的变动量引起的标准不确定度　　由证书得标准量块的变动量为0.55μm，考虑到变动量不能全部代入，所以按1/2计算。由于尺的示值误差与变动量呈线性关系，所以取三角分布，因此，，取，得ν12=22。　　(3)估读引起的标准不确定度　　由于被检尺可估读到1μm，取正态分布k＝3。则u13＝1/3＝0.33μm。取，则ν13＝3。　　经合成　　2.2　用五等量块检定平面平行度引起的标准不确定度u2(分析方法同上)　　(1)标准量块的标准不确定度　　u21=0.8/2.58μm=0.31μm，ν21=22。　　(2)标准量块的变动量引起的标准不确定度　　。　　(3)估读引起的标准不确定度　　u23=1/3=0.33μm，　　　ν23=3　　经合成得：　　2.3　用二级平面平晶检定平面度引起的标准不确定度u3　　(1)二级平晶平面度偏差引起的标准不确定度　　由检定规程可知二级平晶平面度偏差为0.1μm，由误差分布的规律来看取均匀分布则。取相对标准不确定度，则ν32＝12。　　(2)干涉条纹估读引起的标准不确定度　　干涉条纹弯曲量最大可估读到1/10条纹宽度，即0.06μm，取正态分布。　　则u32＝0.06/3＝0.020μm。ν32＝12，经合成2.4　检定径向摆动时引起的标准不确定度　　专用检具的示值误差为0.5μm。取正态分布k=3，则u4=0.5/3μm=0.17μm。取，则ν4＝8。　　以上分析经合成得：　　　　取置信概率P=95%　则查t分布表k=2.09　　扩展不确定度u=k.uc=2.09×0.86μm=1.8μm。　　(注：文中相对标准不确定度的取法系根据取值的可靠性及检测实践参照制定的。)