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D-MFC Function 零点对实际流量的影响 如何选择合适的质量流量控制器 SEC-7330 M C UC Ar 100SCCM 1/4VCR 型号 *1 *2 *3 *4 *5 *6 *1: 选择密封圈的材质 M:金属密封圈 R: 橡胶密封圈 *2: 选择阀在不供电的情况下的状态 O: 常开 C: 常关 *3: 气体流过时接触面的处理状况 UC: 超洁净 *4: 选择气体的种类 *5: 选择全量程和使用的单位 *6: 接口 C 2005 HORIBA　STEC, Co., Ltd. All rights reserved. 质量流量控制器简介 上海堀场贸易有限公司  质量流量控制器主要是由传感器、电路板和驱动阀三大部分组成。是能够对气体流量做精密测量和控制的一种仪器。主要使用在半导体工业和平面显示器制造和太阳能电子方面。 质量流量：质量流量控制器感测的是通过的气体的分子量，工作时不受外界的温度和压力的影响。 CONTROL ELECTRONICS (P-I-D) SIGNAL PROCESSING 电源: +/- 15VDC 设定信号: 0?5V 输出信号: 0?5V 进气端 出气端 什么是质量流量控制器  阀驱动 传感器 控制阀 侧流管 MFC 的内部结构图 传感器的结构 热传感器 Tu Tu Td Td △T . 根据传感器的结构，当没有气体流入时， 传感器两边的温度呈抛物线状均匀分布。 当有气体流过时，上流端的自加热电阻 产生的热量被带走，从而两端形成一定 的温度差，使传感器两边的温度曲线分 布不再平衡。 传感器?侧流管 传感器在不同压力下的特征 必须使侧流管设计为层流结构，这样才能流 出相对稳定和精准的流量 。 （実用新案第１４１６２６９号） 侧流管在不同压力下的特征 压电陶瓷驱动器 陶瓷的堆栈结构 外壳构造 干燥的氮气 连接端口 陶瓷驱动器的内部结构 MFC 的阀结构 陶瓷阀的工作效果图 _ + _ + 提供高的直流电压 压电元件 移动方向 压电元件的伸长 MFC 的阀结构 5V 0 Flow Rate (sccm/slm) 100 96 104 +200mv -200mv 200mV ÷5000mV(5V) ＝0.04(4％）→　100SCCM×4％＝4SCCM 5V 0 Flow Rate (sccm/slm) 100 4V 3V 2V 1V 80 60 40 20 SCCM – 标准立方厘米每分钟 SLM – 标准立方升每分钟 1000sccm = 1slm SCCM和SLM是指在标准条件下的体积单位。标准条件指温度为零摄氏度，一个标准大气压的条件。 ? 在美国，标准条件被广泛接受和认同。 ? .然而，在其它不同的国家通常使用的流量单位除了SCCM和SLM外还有 CCM/ LM (日本) – 温度为 25?C, 一个标准大气压 NCCM/ NLM (日本) – 温度为20?C, 一个标准大气压 ? CCM作流量单位和SCCM作流量单位的MFC之间的流量相差大约为9.1%。 什么是SCCM /SLM 及区别 气体 A N2 真实流量 需要流量 QA = C.F.A * QN2 QA : 气体 A的流量 C.F.A: 气体A 到N2的转换因数 QN2: N2的流量 转换因数是一个平均值。但是实际的转换因数可能会因为流量的范围和外界的压力和温度的影响而稍有不同。 ? 转换因数是使用氮气进行转换，如果是用其它气体作为测量气体，那么测出的气体流量值则会偏差很大。 ? ? N2 什么是MFC的转换因数 END 这里和大家说说CF值这个概念，CONVERSION FACTOR,即为转化因子，因为在半导体工厂有许多特殊的气体和有毒的气体，所以我们实验室在校准流量时就会根据实际情况和安全方面考虑，不会用这些真实的气体去做测试，而是用氮气来代替这些气体，这里就会涉及到CF值，QA=QN*CF,且CF值是日本实验室经过大量的实验而得出来的一个平均值，所以在流真实气体时稍微有点误差也是不可避免的。 MFC ,英文全称即为MASS FLOW CONTROLLER,中文即为质量流量控制器，主要是用来对气体流量进行精密测量和控制的一种仪器。目前它主要使用在半导体制造领域和新兴起的太阳能市场。在半导体制造方面，使用MFC的机台主要有CVD，PVD和ETCH等机台。 大家都知道流量一般分为质量