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收稿日期基金项目青海省重点企业技术创新项目第一作者刘刚男青海人工程师通讯作者王舒娅女籍贯山东硕士研究生助理研究员从事工艺研究刘刚秦榕刘生章王舒娅青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司西宁中国科学院青海盐湖研究所西宁摘要改良西门子法是目前国内外多晶硅厂家最常用的方法对提纯三氯氢硅的三塔精馏工艺进行改进结果表明改进后的四塔精馏工艺可以进一步降低三氯氢硅中硼磷等杂质的含量最终精馏塔顶馏出物高纯三氯氢硅纯度达到关键词多晶硅西门子法杂质精馏工艺改进中图分类号文献标志码文章编号多晶硅材料是半导体集成电
收稿日期：2013-03-01
基金项目：青海省重点企业技术创新项目（2011-JC-07）;
第一作者：刘刚，1978.8，男，青海人。工程师
通讯作者：王舒娅（1983-），女，籍贯：山东。硕士研究生，助理研究员，从事工艺研究。E-mail:wsy@163.com
doi：10.3969/j.issn.1007-7545.2013
doi：10.3969/j.issn.1007-7545.2013.09.015
刘刚1，秦榕1，刘生章1，王舒娅2
（1.青海黄河上游水电开发有限责任公司 新能源分公司，西宁 810000；2.中国科学院 青海盐湖研究所，西宁 810000）
摘要：改良西门子
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