直拉单晶硅培训.pptx

直拉单晶硅培训;目 录;1 太阳能电池概述; 太阳能的主要特点： ⑴取之不尽，用之不竭，能量巨大； ⑵洁净能源； ⑶分布广泛，尤其对边远地区意义重大。; 晶体硅太阳能电池技术是工业大规模利用太阳能发电的主要方法。 各国政府都在出台政策支撑太阳能电池事业的发展！;1.2 太阳能电池原理;-吸收光子，产生电子空穴对 -电子空穴对被内建电场分离，在PN结两端产生电势 -将PN结用导线连接，形成电流 -在太阳电池两端连接负载，实现了将光能向电能的转换;1.3 太阳能电???光伏产业链;单晶硅电池的生产流程;1.4 荣德的工序;2 CZ原理及工艺;2.2 CZ基本工艺;2.2.2 利用热场形成温度梯度 热场（hot zone)是由高纯石墨部件和保温材料（碳毡）组成。 ;2.2.3 晶转、晶升、埚转和埚升 ;2.2.4 单晶炉提供减压气氛保护、机械运动和自动控制系统 ;3 单晶炉、热场构造及自动控制;8上炉筒提升系统： 液压装置，用于上炉筒提升； 9梯子： 攀登炉顶，检查维修提拉头等； 10观察窗： 观察炉内的实际拉晶状态； 11测温孔： 测量对应的保温筒外的温度； 12排气口： 氩气的出口，连接真空泵； 13坩埚升降系统： 坩埚升降旋转系统等； 14冷却水管组： 提供冷却水的分配。 ; 报警灯： 异常情况时发出声光报警； 主操作屏： 主要操作在此进行； 状态指示面板： 各电磁阀状态； 手动按钮： 手动机械提升操作； CCD图像： 相机的图像及取样范围；;3.2 石墨热场的基本部件及作用;石墨坩埚;导流筒的形状及剖面; 左图为石墨加热器三维图。 上图为加热器脚的连接方式。加热器脚和石墨螺丝、石墨电极间需要垫石墨纸，目的是为了更加良性接触，防止打火。;3.3 自动控制;3.3.2直径自动控制; 当坩埚内液面位置发生变化时，直径信号与晶体直径之间的关系也会变化。如右图所示，当读取信号不变情况下，液面上升，晶体直径变大。 因此，CZ过程中会通过埚升/晶升（称为埚跟比或随动比）来控制液面的位置。;4.1硅的基本性质;原生纯多晶;4.3 籽晶;4.4 石英坩埚;1 未熔物：不允许有未熔物存在； 2 白点数量：; 用单晶炉拉制单晶硅时，需要给单晶炉内通入高纯氩气作为保护气体。如果氩气的纯度不高，含有水、氧等其他杂质，会影响单晶生产，严重时无法拉制单晶。 ;4.6 保温材料;5 CZ各生产环节及注意事项;5.2 安装热场;安装热场注意事项;5.3 装料; 按要求正确装料。 重要注意事项： 石英坩埚轻拿轻放。严禁碰伤、玷污； 领料正确，掺杂准确； 液面以下面接触、以上点接触； 原料严禁和其他物体接触，尤其金属和有机物。 ;5.4 抽真空、化料;5.5 安定;5.6 引晶;5.7 放肩;5.8 转肩;5.9 等径;5.9.1 埚位;5.9.2 晶棒晃动;5.9.3 晶棒扭曲;5.9.4 CCD状态;5.9.5 真空状态;5.9.7 单晶是否断棱;5.10 收尾;5.11 冷却和拆炉;双层热场车;6 小结;谢 谢！