新型磁性材料辅助光学抛光技术研究.PDF

第 卷 中 国 激 光 光学前沿———光电技术 ３８ 　 　 　 年 月 专 刊 ２０１１ １２ 犆犎犐犖犈犛犈犑犗犝犚犖犃犔犗犉犔犃犛犈犚犛 　　 新型磁性材料辅助光学抛光技术的研究 邓伟杰 张 峰 李锐钢 　 　 　 （中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学系统先进制造技术重点实验室，吉林 长春 １３００３１） 摘要 提出了一种新型的磁介质辅助抛光技术，用于高精度光学表面的数控抛光。在强磁场的作用下，磁介质吸 　 附在磁轮上并沿着磁力线方向排列起来，形成环状凸起 “磁性抛光刷”。磁轮高速旋转时，循环注入抛光液，对工件 表面实现材料去除。完成了磁介质辅助抛光工具设计、制造，以及与数控机床的组装调试。采用 玻璃工件进行 Ｋ９ 了工艺实验，获得了去除函数分布及表面粗糙度。 关键词 光学制造；磁介质辅助抛光；去除函数 　 中图分类号 文献标识码 ： ／ ＴＨ７６２ Ａ 犱狅犻１０．３７８８犆犑犔２０１１３８．狊１１６００４ 　 　　　 　 　　　 犕犪狀犲狋犻犮犕犲犱犻狌犿犃狊狊犻狊狋犪狀狋犘狅犾犻狊犺犻狀 犜犲犮犺狀狅犾狅 犵 犵 犵狔 犇犲狀 犠犲犻犻犲 犣犺犪狀 犉犲狀 犔犻犚狌犻犪狀 犵 犼　 犵 犵　 犵 犵 （ ， ， 犓犲 犔犪犫狅狉犪狋狅狉 狅犗狋犻犮犪犾犛狊狋犲犿犃犱狏犪狀犮犲犱犕犪狀狌犪犮狋狌狉犻狀 犜犲犮犺狀狅犾狅 犆犺犪狀犮犺狌狀犐狀狊狋犻狋狌狋犲狅犗狋犻犮狊 狔 狔 犳 狆 狔 犳 犵 犵狔 犵 犳 狆 ， ， ， ， ） 犉犻狀犲犕犲犮犺犪狀犻犮狊犪狀犱犘犺狊犻犮狊 犆犺犻狀犲狊犲犃犮犪犱犲犿 狅犛犮犻犲狀犮犲狊 犆犺犪狀犮犺狌狀 犑犻犾犻狀１３００３１ 犆犺犻狀犪 狔 狔 犳 犵 ， 犃犫狊狋狉犪犮狋 犐狀狋犺犻狊 犪犲狉 犪狀狅狏犲犾犿犪狀犲狋犻犮犿犲犱犻狌犿 犪狊狊犻狊狋犪狀狋 狅犾犻狊犺犻狀 狋犲犮犺狀狅犾狅 犪狀犱犱犲狏犻犮犲犻狊狉犲狊犲犪狉犮犺犲犱狋狅 　 狆狆 犵 狆 犵 犵狔 ， 犮狅犿 犾犲狋犲狋犺犲犳犻狀犻狊犺狊狋犲 狅犳狋犺犲狅狋犻犮狊．犃狊狋犺犲犱犲狏犻犮犲狑狅狉犽犻狀 狋犺犲犿犪狀犲狋犻犮 狅狑犱犲狉犪狉狉犪狀犲犱狑犻狋犺狋犺犲犿犪狀犲狋犻犮犳犻犲犾犱 狆 狆 狆 犵 犵 狆 犵 犵 犱犻狊狋狉犻犫狌狋犻狅狀．犜犺犲犿犪狀犲狋犻犮 狅狑犱犲狉犫犲犮犪犿犲犪犳犾