台积公司水资源管理实务.pdf

R e p o r t O u t l i n e 簡報大綱 資源活化與再生 台積公司水資源管理實務 台灣積體電路製造股份有限公司 陳勇龍副處長 趙樹華副理 R e p o r t O u t l i n e R e p o r t O u t l i n e 簡報大綱 簡報大綱 • 台積電水資源管理現況 • 台積電製程廢水回收實務 • 台積電節水與資源化技術 • 結論與建議 TSMC Property 台積公司污染防制策略 ━ 5R 環境保護準則 循環使用的 潔淨空氣 外氣排放 外氣 ● Reduce ：減少有害物質排放量與資源使用量 即時監控 空調箱 ● Refuse ：拒用無環保觀念之產品 製程 中央二次 ● Recycle ：資源再生後回收重複使用 洗滌處理 溫室氣體 減量 ● Reuse ：資源重複再利用 ● Repair ：重視預防性維修保養延長使用週期 尾氣源頭 量身訂做 一次處理 專管收集 水資源 廢棄物再生 循環再使用 資源化 專管 自來水 廠外再生 專管 分流 硫酸/氨水 分流 純水 設備 製程 廠內 前 機台 水 電子級 設備 廢硫酸 處理 回收 純化 機台 回收 純水 放流水 化學品 氨氮 後段精鍊 再生 供應