洁净区环境监测规程.pdfVIP

______________________________________________________________________________________________________________ 洁净区环境检测规程 1 目的 规定洁净区的控制指标和检测方法， 有效的控制洁净车间和实验室洁净区环境的洁净度， 满 足生产和检测环境的要求。 2 范围 本规程适用本公司洁净区环境的洁净度检验。 3 职责 化验员负责洁净环境检测各项技术要求的检验。 4. 工作程序 4.1 检验项目 温度、湿度、压差、风速（换气次数） 、尘埃粒子数、菌落数。 4.2 温度、湿度 4.2.1 要求 洁净区温度（ 18-28 ）℃，相对湿度（ 45-65 ）% 4.2.2 仪器与设备 温湿度计 温湿度计必须在检定合格周期内 4.2.3 操作方法 目测温湿度计 4.2.4 测定频次 1 次/班 4.3 压差 -可编辑修改 - ______________________________________________________________________________________________________________ 4.3.1 要求 洁净室与室外压差≥ 10Pa ，洁净室与非洁净室≥ 5Pa ，不同级别洁净室之间≥ 5Pa 。 4.3.2 仪器与设备 微压计 微压差计或手持式数显压差计须在检定合格周期内。 4.3.3 操作方法 用微压计或数显压差计测试各室的静压力，由两室静压力之差，为静压差。 4.3.4 测定频次 1 次/ 月 4.4 换气次数 /风速 4.4.1 要求如表 1 所示： 表 1 各级别洁净区风速的技术指标 级别 100 级 10000 级 100000 级 300000 级 风速 水平层流 ≥0.4 —— —— —— m/s 垂直层流 ≥0.3 换气次数 —— ≥25 ≥15 ≥12 次/h 4.4.2 仪器与设备 风速计 风速计必须在检定合格周期内。 4.4.3 操作方法 4.4.3.1 用风速计距风口下 25cm 处测量风速，采样点为风口的四个顶角及中心位置（不少 -可编辑修改 - ______________________________________________________________________________________________________________ 于 5 点）。计算 5 个点风速平均值，为一个风口的风速。 4.4.3.2 换算公式： （高效送风口风速 高效送风口面积） 换气次数 被测房间体积 4.4.4 测定频次： 1 次/ 月 4.5 尘埃粒子数 4.5.1 要求如表 2 所示： 表 2 各级别洁净区尘埃粒子数的技术指标 级别 100 级 10000 级 100000 级 300000 级 尘埃数 ≥0.5 μm ≤3500 ≤350000 ≤3500000 粒/m 3 ≥5.0 μm 0 ≤2000 ≤20000 ≤60000 4.5.2 仪器与设备 尘埃粒子计数器 4.5.3 内容 （1 ）用尘埃粒子计数仪在高度 0.8 米