扫描电子显微镜.docx

目录 TOC \h \z \t 目一,1,目二,2,目三,3 摘要 1 第一章 引言 2 第二章 电子显微镜的构造及原理 3 2.1电子光学系统 4 2.1.1电子枪 4 2.1.2电磁透镜 4 2.1.3扫描线圈 4 2.1.4样品室 5 2.2信号的收集和图像显示系统 5 2.3真空系统 5 2.4电子系统 6 第三章 扫描电子显微镜的性能特点 7 3.1分辨率 7 3.2放大倍数 7 3.3景深 7 第四章 扫描电子显微镜的工作方式 9 4.1二次电子 9 4.2背散射电子 11 4.3吸收电子 11 4.4特征X射线 12 4.5俄歇电子 12 第五章 晶体学概述 13 5.1晶格和晶胞 13 5.2金属的典型晶格 13 5.3金属晶体的结构缺陷 15 第六章 机械制造业概述 18 6.1重新认识机械制造业 18 6.2当前机械制造业发展的特点是高新技术的综合利用 18 6.3当前机械制造业发展的趋势是柔性化、灵捷化和智能化 18 第七章 扫描电子显微镜在机械制造业中的应用 20 7.1端口分析 20 7.2微区化学成分分析 21 7.3镀层表面形貌分析和厚度检测 22 7.4显微组织及超微尺寸材料的研究 22 第八章 实验 24 第九章结论 25 参考文献 26 结语 27 PAGE 2 扫描电子显微镜在机械制造业的应用 张宾 摘要：随着科学技术的发展进步，我们不再局限于观察宏观物质或者结构，而是全面观察更细致的微观世界。在纳米尺度下，光学显微镜已经无法使用，取而代之的是电子显微镜。扫描电子显微镜由于样品的制备过程简单、景深大、图像的放大范围广、分辨率高等特点，结合晶体学知识，在机械制造中对于研究材料的表面结构、微区成分、观察形貌功效特别显著，例如材料的断口、磨损面、镀层表面形貌和厚度、微区化学成分、显微组织及超微尺寸材料等的观察研究。本文主要通过学习扫描电镜的构造、工作原理以及工作方式，总结概括扫描电镜在机械制造中的应用及其以后的发展状况，并通过实验进一步熟悉扫描电镜的操作、图像分析等。 关键词：扫描电子显微镜、二次电子、电子探针、断口、晶体结构、机械制造业。 Abstract：With the development of science and technology progress, we are no longer confined to the observed macroscopic material or structure, but to see more detailed microscopic world. Under the scale of nanometer , optical microscope has been unable to use , instead of electron microscopy. Scanning electron microscope due to the simple process of sample preparation , the depth of field , the width of image in magnification and the high resolution , combining the knowledge of Crystallography , the effect of research object surface structure , the composition of microstructure and the morphology observation is special significantly in the manufacture of machinery, Such as the observation and study in fracture of materials , wear face, surface morphology and thickness of coating , composition of microstructure , microstructure and micro-size of material. This article mainly through the study of scanning electron microscopy of the structure, working princip