GB/T 29844-2013用于先进集成电路光刻工艺综合评估的图形规范.pdf

ICS31.030 L90 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT29844 2013 用于先进集成电路光刻工艺综合 评估的图形规范 Secificationsformetrolo atternsforthe p gyp evaluationofadvanced hotolithrah p g py 2013-11-12发布 2014-04-15实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发 布 中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准 用于先进集成电路光刻工艺综合 评估的图形规范 / — GBT29844 2013 * 中 国标 准 出版 社 出版 发 行 北京市朝阳区和平里西街甲 号( ) 2 100013 北京市西城区三里河北街 号( ) 16 100045 网址: g 服务热线: 010 010 年 月第一版 2014 1 * 书号: · 155066 1-47943 版权专有 侵权必究 / — GBT29844 2013 前 言 本标准按照 / — 给出的规则起草。 GBT1.1 2009 。