透射电镜的结构与成像原理.pptxVIP

中南大学; 透射电镜一般是电子光学系统、真空系统和电源与控制系统三大部分组成。电子光学系统通常称为镜筒，是透射电子显微镜的核心，它又可以分为照明系统、成像系统和观察记录系统。;2.1.1 照明系统;热电子枪由灯丝（阴极）、栅极帽、阳极组成。常用灯丝为钨丝（如H-800)、LaB6(如JEM-3010)。;;B、场发射电子枪;发卡型钨灯丝;场发射枪;Comparison of four different emission guns;不同电子枪性能的比较;2.1.1.2 聚光镜;当采用双聚光镜时，第一聚光镜一般是短焦距强励磁透镜，作用是将电子枪得到的光斑尽量缩小，第二聚光镜是长焦距弱透镜，它将第一聚光镜得到的光源会聚到试样上，一般来说，该透镜对光源起放大作用。采用双聚光镜的优点在于： 扩大了光斑尺寸的变化范围，在不同的模式下，可以通过改变第一聚光镜的电流，选择所需要的光斑尺寸； 可以减小试样的照射面积，减少试样的温升； 观察时可以通过改变第二聚光镜电流，改变试样的照射面积； 由于第二聚光镜为弱透镜，增加了聚光镜和样品之间的距离，有利于安装聚光镜光阑和束偏转线圈等附件。;JEM-3010几种照明光路的比较;2.1.2 成像系统;物距L1固定（一般可通过调节样品高度来微调），所以在成像时，主要改变焦距f和像距L2来满足成像条件。; 为了减小物镜的球差和提高像的衬度，在物镜后焦面上可安放一个孔径可调的物镜光阑（最小孔径可以做到5微米），物镜光阑的另一作用是进行暗场及衍衬成像操作。 在新的电镜中，物镜皆由两部分组成，分为上物镜和下物镜，试样置于上下物镜之间，上物镜起强聚光作用，下物镜起成象放大作用。;2.1.2.2中间镜;2.1.2.3 投影镜;成像系统成像模式操作——三种放大倍数范围;2.1.3 观察记录系统;不同电镜的荧光屏发光强度是不同的，有的电镜的荧光屏看起来不亮，但电子的强度是很强的，比如某些场发射电镜，所以选择曝光时间时要注意； 照相用的底片是一种对电子束很敏感的感光材料制成，这种材料对绿光比较敏感，对红光基本不反应，因此可以在红光下换片和洗底片； TV相机是直接将光信号转变为电信号，反应速度极快，但不利于记录； 慢扫描CCD是必威体育精装版发展出来的一种记录方式，反应速度较TV相机慢，但记录十分方便。;2.2 真空系统; 透射电镜需要两部分电源：一是供给电子枪的高压部分，二是供给电磁透镜的低压稳流部分。 电压的稳定性是电镜性能好坏的一个极为重要的标志。加速电压和透镜电流的不稳定将使电子光学系统产生严重像差，从而使分辨本领下降。所以对供电系统的主要要求是产生高稳定的加速电压和各透镜的激磁电流。在所有的透镜中，物镜激磁电流的稳定度要求也最高。 近代仪器除了上述电源部分外，尚有自动操作程序控制系统和数据处理的计算机系统;2.4 主要部件的结构与工作原理;样品台有双倾台和单倾台之分，单倾台只能随测角台转动（X轴），双倾台除了可以随测角台转动外，还可以绕垂直于测角台轴线的Y轴转动。另外样品台按在电镜中的装入方式还可以分为侧插式和顶插式，不过顶插式用得很少。;2.4.2 电子束倾转与平移装置（电磁偏转器）;2.4.3 消像散器;2.4.4 光阑;聚光镜光阑的作用是限制照明孔径角，在双聚光镜系统中，常装在第二聚光镜的下方。 物镜光阑又称衬度光阑，通常安放在物镜的后焦面上，作用是挡住散射角较大的电子，提高图像的衬度，另一作用是在后焦面上套取衍射束的斑点成像。 选区光阑又称场限光阑或视场光阑，一般放在物镜的像平面上。;2.5 透射电镜分辨本领和放大倍数的测定;a;点分辨率和线分辨率的测定;谢谢！