YS/T 983-2014多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法.pdf

ICS77.040 H 17 中华人民共和国有色金属行业标准 / — YST983 2014 多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的 测定方法 ㅤㅤㅤㅤ Testmethodformeasurin com ositionofolsilicon g p p y deositionreactorandTCStoSTCconverterventas p g 2014-10-14发布 2015-04-01实施 中华人民共和国工业和信息化部 发 布 / — YST983 2014 多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的 测定方法 1 范围 本标准规定了多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法。 ( 、 、 、 本标准适用于改良西门子法工艺还原炉和氢化炉尾气成分 氢气 氯化氢 三氯氢硅 二氯二氢硅和 ) 。 。 四氯化硅 的测定 检测范围为体积分数 0.1%~100% 2 规范性引用文件 。 , 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 凡是注日期的引用文件 仅注日期的版本适用于本文 。 , ( ) 。 件 凡是不注日期的引用文件 其必威体育精装版版本 包括所有的修改单 适用于本文件 / 、 GBT7445 纯氢 高纯氢和超纯氢 / 、 GBT8979 纯氮 高纯氮和超纯氮 3 方法提要 ㅤㅤㅤㅤ 、 , , 根据尾气中各个组分的沸点 极性及吸附性的差异 利用气相色谱将各个组分从色谱柱中分离 采 用热导检测器( )检测其含量。 TCD 4 干扰因素 , , 。 4.1 样品温度应不低于 50℃ 否则样品中部分氯硅烷组分会出现冷凝 使分析结果失去代表性 , , 无法采集至取样容 4.2 尾气压力应保持在合适的范围 太大不易操作且不安全 太小容易导致样品 器内。 , , 。 4.3 取样容器