YS/T 1060-2015硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定　气相色谱法.pdf

ICS77.040.30 H 17 中华人民共和国有色金属行业标准 / — YST1060 2015 硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的 测定 气相色谱法 ㅤㅤㅤㅤ Determinationofotherchlorosilaneintrichlorosilaneforsiliconeitax— q y Gaschromatorahicmethod g p 2015-04-30发布 2015-10-01实施 中华人民共和国工业和信息化部 发 布 / — YST1060 2015 硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的 测定 气相色谱法 1 范围 ( 、 ) 本标准规定了硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷 包括二氯二氢硅 四氯化硅 含量的气相色谱测定 方法。 ( 、 ) 。 本标准适用于硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷 包括二氯二氢硅 四氯化硅 含量的测定 测定下 限为0.002%。 2 方法提要 ( ) , , 三氯氢硅样品在惰性气体 氮气或氩气 保护下注入气相色谱仪 各组分经色谱柱分离后 用热导池 , 。 检测器检测 用峰面积归一化法计算 3 试剂 , 。 3.1 载气氢气 体积分数≥99.999% ㅤㅤㅤㅤ , 。 3.2 惰性气体 体积分数≥99.999% 4 仪器 : ( ) , 。 4.1 气相色谱仪 配有热导池检测器 TCD和相应的色谱工作站 检测限为0.001% : , , , 。 4.2 色谱柱 不锈钢填充柱 固定液为 25%DC-550规格为ϕ3mm×2.5m 或其他等效色谱柱 微量注射器: 。 4.3 10 L μ 5 干扰因素 , 。 5.1 样品宜置于冰箱中冷冻保存 防止样品挥发损失 室内湿度应控制在 , 。 5.2