《DB31 T 297-2003 扫描电子显微镜放大倍率校准方法》.pdf

N33 备案号：14635-2004 上 海 市 地 方 标 准 DB31/T 297-2003 扫描电子显微镜放大倍率校准方法 Calibration Method of Magnification of Scanning Electron Microscope 2003-10-28 发布 2004-01-01 实施 上海市质量技术监督局 发 布 DB31/T 297-2003 前言 有关扫描电子显微镜的我国技术规范和标准已经制订并发布的有JB/T 6842-93 《扫描电子 显微镜试验方法》、JJG 550— 88《扫描电子显微镜》、JY/T 010-1996《分析型扫描电子显微 镜方法通则》等。但对于扫描电子显微镜放大倍率这个重要的计量参数，缺乏有效的校准方法 和对标准物质的正确要求。因此使得从扫描电子显微镜得到的长度计量数据并无量值溯源性和 不确定度评估，所以有必要制订本标准。本标准规定了放大倍率的校准方法，并给出了测量不 确定度评估的指南，以便使扫描电子显微镜所获得的数据具有溯源性和各仪器之间的数据可比 性。 本标准第4.2条参照JB/T 6842-93 《扫描电子显微镜试验方法》的有关章、条编写。第5.1 条、第7章、附录A参照ASTM E766-98 《Standard Practice for Calibrating the Magnification of a Scanning Election Microscope》的有关章、条编写。 本标准的附录A、附录B为标准的资料性附录。 本标准由上海市计量测试技术研究院提出。 本标准起草单位：上海市计量测试技术研究院、同济大学。 本标准主要起草人：盛克平、丁听生、夏佩芬。 I DB31/T 297-2003 扫描电子显微镜放大倍率校准方法 1 适用范围 本标准适用于对扫描电子显微镜放大倍率500倍以上的各种探测模式的放大倍率校准。此 外，由于扫描电子显微镜放大倍率是多种工作参数的复杂函数，所以本标准仅适用于确定参数 条件下的放大倍率的校准。 2 规范性引用文件 下列文件中的条款，通过在本标准中引用而构成本标准的条款。凡是注日期的引用文件， 其随后所有的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标 准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的必威体育精装版版本。凡是不注日期的引用文件，其必威体育精装版版 本适用于本标准。 JJG 550-1988 扫描电子显微镜国家计量检定规程 JB/T 6842-1993 扫描电子显微镜试验方法