扩散炉工作原理.ppt

扩散炉简介 CUC 扩散炉简介 扩散炉工作原理 扩散炉主要性能参数 扩散炉总体结构 扩散炉各组成部分 扩散炉工作原理 扩散炉扩散原理简介 扩散炉控制原理 扩散炉扩散原理简介 　　 由于硅太阳电池实际生产中均采用Ｐ型硅片，因此需要形成Ｎ型层才能得到ＰＮ结，这通常是通过在高温条件下利用磷源扩散来实现的。 太阳电池制造工艺中，磷扩散一般有三种方法，一是三氯氧磷（POCl3）液态源扩散，二是喷涂磷酸水溶液后链式扩散，三是丝网印刷磷浆料后链式扩散，本公司目前采用的是第一种方法。 　 　　　 POCl3液态源磷扩散系统示意图 用保护性气体，通过恒温的液态源瓶（鼓泡或吹过表面），把杂质源蒸汽带入高温扩散炉中，经高温热分解同硅片表面反应，还原出杂质原子，并向硅片内扩散。 扩散炉主要性能参数 炉膛有效内径： Ф320mm 温度控制范围： 600～1100℃ 恒温区长度及精度： ≤±0.5℃/1080mm （801～1100℃） ≤±1.0℃/1080mm （400～800℃） 单点温度稳定性： ≤±1℃/4h （880℃时） 升降温速率可控范围： 爬升率: 15℃/min (最大) 下降率: 5℃/ min (最大) 扩散炉主要性能参数（续） 具有超温、断偶、短路报警和保护功能。 具有自动斜率升降温及恒温功能。 送片方式： 采用SiC桨悬臂自动送片机构，舟速20～500mm/min连续可调； 定位精度:≤±2mm，SiC桨最大载片承重:16Kg,建议不超过14Kg。 炉门当悬臂完全进入炉管，达到极限位置的时候会自动关闭。 工艺过程由工控计算机全自动控制，直接在触摸屏上操作。 扩散炉总体结构 设备总体结构图 主要组成部分 扩散炉总体结构图 扩散炉平面图 电气控制部分、加热炉体部分、推舟净化机构和气源部分 扩散炉各组成部分 电气控制部分 推舟净化机构 加热炉体部分 气源部分 扩散炉——电气控制部分 电气控制部分控制柜 电气控制柜 整个控制柜分为四层，工控机控制部分分为上、中和下层3个独立部分，每层分别控制对应层的舟、炉温及气路部分，是整个系统的控制中心。 电控柜的前面板相应层，各安装一台触摸液晶显示器和各管独立的控制按钮。 电气控制部分控制柜 推舟净化部分 加热炉体部分