电子厂房净化空调工程改造设计方案.docVIP

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2020-01-11 发布于山东
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电子厂房净化空调工程改造设计方案.doc

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某电子厂房净化空调工程改造设计方案 1原有净化空调工程情况电子厂房原有的净化空调工程基础上，对工艺布置和净化空调系统提出改造方案，并对方案设计进行了简单的介绍.　　　　1.1简况　　　　该厂房位于天津市开发区，建于1995年，主要生产半导体芯片。厂房共建三层，需改造项目位于二层，系统的平面布置如图1所示。系统总面积1510m2，其中空调面积385m2,净化面积1125m2，净化级别除黄光室为千级外，其余均为万级。　　　　1.2系统存在的主要问题　　　　(1)厂房内只对千级间黄光室设围护结构，　　　　其余房间均为敞开式，净化区域与非净化区混合在一起，系统较为混乱，难以控制和调节，净化区域的洁净度不能达到要求；　　　　(2)非净化区域的扩散炉，经测定表面温度可达50℃，散热量非常大，在原有设计中存在空调送风量不足问题，造成扩散炉周围区域的温度高达37℃，并且回风循环使用，不利于节能；　　　　(3)酸洗槽的排风量不足，平均断面风速为0.1m/s，酸性物质存留在室内环境中，不能有效地排出，严重影响室内的卫生和生产环境；　　　　(4)在厂房洁净区入口处的风淋室风速为12m/s的要求，需要更换循环风机。　　　　2改造方案　　　　针对系统运行中出现的的以上情况，经与甲方协商，提出了改造方案。　　　　2.1工艺布置改造方案　　　　2.2净化空调系统改造方案　　　　3改造后的使用效果　　　　系统改造后经高度确保每个房间的风量、正压达到设计要求，在动态下检测，厂房的洁净度、温湿度、噪声、照度等各项指标均达到设计要求。