简析电子束、离子束、激光束加工的区别.doc

简析电子束、离子束、激光束加工的区别？ 答案： 1.加工原理：电子束和离子束的加工原理相似，都是发生撞击效应、溅射效应和注入效应，从而实现加工；而激光束加工的机理是热效应。 2.加工装置：电子束和离子束相似，主要由电子枪系统、真空系统、控制系统、和电源系统做成；而激光束是由激光器、电源、光学系统、机械系统等组成。 3.加工特点： 电子束： （1）.束径小、能量密度高； （2）.非接触加工，加工过程中工具与加工工件之间不存在明显的机械切削力，不产生宏观应力和变形； （3）.被加工对象范围广； （4）.电子束能量高，加工速度快、效率高； （5）.电子束加工需要一套专用设备和真空系统，价格昂贵。