DB32∕T 3459-2018 石墨烯薄膜微区覆盖度测试 扫描电子显微镜法.pdf

ICS 17.040.20 Q 53 备案号：60497-2018 DB32 江 苏 省 地 方 标 准 DB32/T 3459—2018 石墨烯薄膜微区覆盖度测试 扫描电子显微 镜法 Measurement of micro-scale coverage of graphene film by scanning electron microscopy 2018 - 11 - 09 发布 2018 - 11 - 30 实施 江苏省质量技术监督局 发 布 DB32/T 3459—2018 目 次 前言 II 1 范围 1 2 规范性引用文件 1 3 术语和定义 1 4 测试准备 2 5 SEM 测试 3 6 图像处理 4 7 微区覆盖度计算 4 8 不确定度评定 4 9 测试报告 4 附录A （资料性附录） 实例 5 附录B （资料性附录） 测试报告式样 7 I DB32/T 3459—2018 前 言 本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。 本标准由常州市质量技术监督局提出。 本标准由江苏省石墨烯标准化技术委员会归口。 本标准主要起草单位：江南石墨烯研究院、常州国成新材料科技有限公司、常州市计量测试技术研 究所。 本标准主要起草人：董国材、张小敏、陈彩云、梁枫、周志峰、孙瑛。 II DB32/T 3459—2018 石墨烯薄膜微区覆盖度测试 扫描电子显微镜法 1 范围 本标准规定了扫描电子显微镜法测定石墨烯薄膜微区覆盖度的测试准备、SEM测试、图像处理及覆 盖度计算等。 本标准适用于化学气相沉积法制备的各种金属基底上的、由于生长原因未完全覆盖的、畴间距小于 200 um的石墨烯薄膜微区覆盖度的测定。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。 凡是不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 JJG （教委）010 分析型扫描电子显微镜检定规程 ISO/TS 80004-13:2017 纳米科技 - 术语 - 第 13 部分：石墨烯及相关二维材料 (Nanotechnologies-vocabulary-part 13：Graphene and related two-dimensional （2D）materials) 3 术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 3.1 石墨烯 graphene 由一个碳原子与周围三个近邻碳原子结合形成蜂窝状结构的碳原子单层。 注1：它是许多碳纳米物体的重要构建单元。 注2：由于石墨烯仅有一层，因此通常被称