Q_320214YWDZ 002-20194520型OXIDE刻蚀机企业标准.pdf

             Q/YWDZ 江苏邑文微电子科技有限公司企业标准 Q/320214YWDZ 002—2019 4520 型 OXIDE 刻蚀机   2019‐12‐20 发布  2019‐12‐25 实施 江苏邑文微电子科技有限公司发布   Q/320214YWDZ 002—2019   前言 为了规范4520型OXIDE刻蚀机的生产，保证4520型OXIDE刻蚀机的质量，特制订本标准。 本标准所有内容符合强制性国家标准、行业标准及地方标准，若与其相抵触时，以国家标准、 行业标准、地方标准为准。 本标准按GB/T 1.1-2009 标准化工作导则 第1部分:标准的结构和编写给出的规则进行 编制。 本标准由江苏邑文微电子科技有限公司提出。 本标准由江苏邑文微电子科技有限公司起草。 本标准主要起草人：廖海涛。 本标于2019年12月20日首次发布。   I    Q/320214YWDZ 002—2019   4520型OXIDE刻蚀机 1 范围 本标准规定了4520型OXIDE刻蚀机的术语与定义、基本参数、工作条件、原材料、要求、试 验方法、检验规则、标志、包装、运输、储存及使用说明书。 本标准适用于4520型OXIDE刻蚀机（以下简称刻蚀机）。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适 用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T 191 包装储运图示标志 GB/T 1804-2000 一般公差 未注公差的线性和角度尺寸的公差 GB 2894 安全标志及其使用导则 GB/T 4208 外壳防护等级（IP代码） GB 5226.1 机械电气安全 机械电气设备 第1部分：通用技术条件 GB 9254 信息技术设备的无线电干扰限值和测量方法 GB/T 13306 标牌 GB/T 13384 机电产品包装通用技术条件 GB 14048.1 低压开关设备和控制设备 第1部分：总则 GB 16754 机械安全 急停 设计原则 GB 50017 钢结构设计标准 GB 50054 低压配电设计规范 GB 50055 通用用电设备配电设计规范 GB/T 14436 工业产品保证文件 总则 JB/T 5943 工程机械 焊接件通用技术条件