Q_320281NQY01.07-2020光刻胶配套试剂 正胶显影液（TMAH）溶液.pdf

G63 Q 江阴江化微电子材料股份有限公司企业标准 Q/320281NQY01.07—2020 代替 Q/320281NQY01.07—2017 光刻胶配套试剂 正胶显影液（TMAH）溶液 2020—01—02 发布 2020—01—15 实施 江阴江化微电子材料股份有限公司 发 布 Q/320281NQY01.07—2020 前 言 本标准的编写格式符合GB/T 1.1-2009的规定。 本标准由江阴江化微电子材料股份有限公司负责起草。 本标准由江阴江化微电子材料股份有限公司批准。 本标准主要起草人：殷福华、顾玲燕。 本标准所代替标准的历次版本发布情况为： ——Q/320281NQY01.07—2009、Q/320281NQY01.07—2010、Q/320281NQY01.07—2013、 Q/320281NQY01.07—2017。 I Q/320281NQY01.07—2020 光刻胶配套试剂 正胶显影液（TMAH）溶液 1 范围 本标准规定了光刻胶配套试剂 正胶显影液(TMAH)溶液的分类、要求、试验方法、检验规则及包装、 标志、运输、贮存及安全等。 本标准适用于光刻胶配套试剂 正胶显影液(TMAH)溶液。 用途：用于正性光刻胶的显影。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB 190 危险货物包装标志 GB/T 601 化学试剂 标准滴定溶液的制备 GB/T 602 化学试剂 杂质测定用标准溶液的制备 GB/T 603 化学试剂 试验方法中所用制剂及制品的制备 GB/T 605 化学试剂 色度测定通用方法 GB/T 6682 分析实验室用水规格和试验方法 GB/T 8170 数值修约规则与极限数值的表示和判定 GB/T 9729 化学试剂 氯化物测定通用方法 GB 15346 化学试剂 包装及标志 Q/320281NQY 03.01 液体颗粒计数仪颗粒测定通用方法 Q/320281NQY 03.02 ICP-MS等离子质谱仪测定通用方法 3 分类 正胶显影液 （TMAH）溶液产品按照含量、配比不同分为ZX-238型、ZXS-238型、25%TMAH、20%TMAH。 产品按照纯度不同分为EL级、VL级、UL级、SL级。 4 要求 4.1 本试剂为无色透明有机碱水溶液，有特殊臭味，有腐蚀性。 4.2 含量 (TMAH) ZX-238型、ZXS-238型(VL级、UL级)………………………(2.38±0.01)%； ZX-238型、ZXS-238型(