电子与微电子材料.pptxVIP

电子与微电子材料;本章内容;6.1 导电材料;6.1.2 快离子导体;（1）电子导电陶瓷 非金属元素的碳化物、氮化物以共价键为主，金属键为辅。这几类化合物构成的陶瓷都是电子导电 如SiC、MoSi2电热材料 某些氧化物陶瓷通过加热或者用其它的方法激发，使外层电子获得足够的能量成为自由电子而具有导电性 如氧化铝陶瓷、氧化钍陶瓷及由复合氧化物组成的铬酸镧陶瓷，都是新型的高温电子导电材料; ;6.1.3 聚合物导电材料;Chapter6 Electronic and Microelectronic Materials;Chapter6 Electronic and Microelectronic Materials;Chapter6 Electronic and Microelectronic Materials;Chapter6 Electronic and Microelectronic Materials;Chapter6 Electronic and Microelectronic Materials;Chapter6 Electronic and Microelectronic Materials;Chapter6 Electronic and Microelectronic Materials;Chapter6 Electronic and Microelectronic Materials;Chapter6 Electronic and Microelectronic Materials;Chapter6 Electronic and Microelectronic Materials;Chapter6 Electronic and Microelectronic Materials;Chapter6 Electronic and Microelectronic Materials;Chapter6 Electronic and Microelectronic Materials;6.2 介电材料;（1）绝缘陶瓷 Insulating ceramics;绝缘陶瓷种类; ;（2）介电陶瓷 dielectric ceramic;高频介质陶瓷;27;微波介质陶瓷; ;6.2.2 压电材料 压电效应和逆压电效应;常用的压电陶瓷; ; ;6.2.4 铁电材料 定义，电滞曲线，剩余极化强度、矫顽电场强度; ; ;6.3 半导体材料 Semiconductors;38;能带理论;40;6.3.2 半导体分类及特点;掺杂（ Doping ）：在高纯半导体中有意识地加入少量杂质以提高载荷体数量 施主杂质（ n-型半导体）：ⅣA族元素（C、Si、Ge、Sn）中掺入以VA族元素（P、Sb、Bi） 受主杂质（ p-型半导体）：ⅣA族元素（C、Si、Ge、Sn）中掺入以ⅢA族元素（如B） ; ; ;; ; ;(3)超晶格半导体 ;① 组分超晶格;② 掺杂超晶格 ;51;③ 多维超晶格 ;④ 应变超晶格 ;半导体的电阻特性;6.3.3 PN结;56;57;58;59;（2）砷化镓（GaAs）单晶;61;62;63;64;65;66;67; ; ; ;6.4 微电子材料与芯片;光刻原理;Manufacturing steps;Process;Etching result;6.4.3 微电子主要材料;77;酸增殖反应 ;负性光刻胶;环化橡胶-多叠氮感光体系;双叠氮光交联剂;水溶性光刻胶;对光刻胶的要求