SEM操作规程范本.doc

精品文档 . JSM-7800F扫描电镜操作规程 1、确认Maintenance界面内的GUN/AC内GUN参数（电流值稳定）和SIP1和SIP2的真空度正常方可运行！！ 2、选择正确的样品座放置样品并固定，样品高度不要超过样品座上方10mm。 注意：接触样品座，取放样品时务必戴手套操作！！！ 3、装样品前必须确认高压处于关闭状态。 4、点击SEM应用程序软件中Specimen窗口的Exchange Position按钮，使样品交换室控制面板EXCH POSN灯点亮，并确认样品台处于样品交换的位置（X：0.000mm，Y：0.000mm，Z=40.0mm，R：0.00，T：0.00）。 5、按下VENT按钮对Exchange chamber放气，直至VENT常亮，表示样品交换室处于大气状态。 6、松开交换室锁扣，打开样品交换室，将已固定好样品的样品座，按箭头方向置于样品座夹具内。 7、完全关闭样品交换室门，扣好锁扣。? 8、按下EVAC按钮，开始抽真空，EVAC闪烁，待真空达到要求时，EVAC常亮。 9、手持样品交换杆，将样品杆放下至水平并向前轻推，将样品Holder完全送进交换室中，注意当HLDR灯亮起后，再完全拉出样品杆，垂直立起放置，此时样品已正常放置于样品室内。 注意：在拉动样品杆时，若有警报声，应立即停止操作，将样品杆归位，检查操作步骤是否正确。 10、在SEM应用程序软件界面正确选择所使用Holder的类型，输入样品高度值，点击OK确认。 11、输入Z值10mm。 11、查看样品室真空度，确认真空度小于5.0×10-4 Pa时才可开始进行图像操作。 12、观察样品，获取图像。 （1）点击ON，打开高压，根据样品选择所需的电压。 （2）如果有多个样品，按下LDF按钮切换到低倍模式，选择要观察的样品位置，选好后按LDF按钮切换回高倍模式。 （3）确认Scanning Mode在Quick View状态，寻找样品表面的明显特征。先切换到较高倍率，转动FOCUS的旋钮进行聚焦，X、Y散光像差校正旋钮进行像散调整，调整亮度与对比度（可按ACB自动调整或手动调整），直至样品表面特征的图像清晰为止（低倍率时，利用AUTO键进行自动对焦）。然后切回所需之倍率进行图像观察。 a）如果聚焦时出现图像是模糊的，需要进行电子束对中调整。 b）按键盘上RDC?IMAGE键，打开调整窗口，按键盘上WOBB键，此时图像会来回摆动，旋转键盘上X、Y调整旋钮使图像停止摆动（X方向摆动调整X旋钮，Y方向摆动调整Y旋钮）。 c）关闭WOBB键，此时STIG键自动亮，分别旋转键盘上X、Y调整旋钮将图像调整清晰。 d）继续放大倍数，转动FOCUS旋钮进行聚焦，如图像不清晰，重复c步直到将图像调整清晰。 e）如果图像已经调整好，，按键盘上“RDC?IMAGE”键关闭调整窗口，进行全屏显示。 （4）图像聚焦像散调整完毕后，按下FINE?VIEW键及FREEZE键扫描图像并定格，也可按下PHOTO键获取最终图像，输入样品名称，选择文件类型和文件保存位置，点击“Save”进行保存。 （5）按“FREEZE”键取消锁定，按“QUICK?VIEW”进行快速扫描，为下一次调整图像做好准备。 13、背散射（BEI detector）观察 1）点击Exchange Position，EXCH POSN灯同步亮，样品台回到样品交换的初始位置。 2）点击OFF，关闭高压，确认高压处于关闭状态！ 3）在仪器状态区域将BEI勾选，BEI detector自动伸入样品室。 4）点击ON，打开高压，根据样品选择所需的电压。 5）找好要分析的样品位置，调整好倍率，聚焦及像散。 6）在图像显示区域选择图像信号为BEC 7）按Fine view2 获取图像，按下PHOTO键获取最终图像，选择 “Save”模式进行保存。。 8）使用完成后，先关闭高压，再将BEI打勾取消（即表示BEI detector退回）。 14、结束观察： 1）将放大倍率调至最低倍。 2）点击OFF，关闭高压，确认高压处于关闭状态！ 2）点击软件中Specimen窗口的Exchange Position按钮，EXCH POSN灯同步亮，样品台复位，处于样品交换的初始位置。 3）利用样品交换杆将样品Holder拉出样品交换室。 4）按下VENT键放气，直至VENT常亮。 5）打开样品交换室，按箭头方向取出样品Holder及样品，并检查样品交换室是否正常。 6）关闭样品交换室并按EVAC抽真空，待EVAC灯不再闪动后，观察结束。  注意事项 1、接触样品座，取放样品时务必戴手套操作，并确保样品在样品台上固定牢固；样品柱高度最好不要超过样品座上方10mm。样品高出样品台时，不要将Z值输入过小，造成镜头碰撞样品台。 2、注意：在