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Acceptor - An element, such as boron, indium, and gallium used to create
a free hole in a semiconductor. The acceptor atoms are required to have
one less valence electron than the semiconductor.
受主 - 一种用来在 半导体 中形成空穴的元素,比如硼、铟和镓。受
主原子必须比半导体元素少一价 电子
Alignment Precision - Displacement of patterns that occurs during the
photolithography process.
套准精度 - 在光刻工艺中转移图形的精度。
Anisotropic - A process of etching that has very little or no undercut ti ng
各向异性 - 在蚀刻过程中,只做少量或不做侧向凹刻。
Area Contamination - Any foreign particles or material that are found on
the surface of a wafer. This is viewed as discolored or smudged, and it is
the result of stains, fingerprints, water spots, etc.
沾污区域 - 任何在晶圆片表面的外来粒子或物质。由沾污、手印和
水滴产生的污染。
Azimuth, in Ellipsometry - The angle measured between the plane of
incidence and the major axis of the ellipse.
椭圆方位角 - 测量入射面和主晶轴之间的角度。
Backside - The bottom surface of a silicon wafer. (Note: This term is not
preferred; instead, use ,back surface?.)
背面 - 晶圆片的底部表面。(注:不推荐该术语,建议使用 “背部表
面 ”)
Base Silicon Layer - The silicon wafer that is located underneath the
insulator layer, which supports the silicon film on top of the wafer.
底部硅层 - 在绝缘层下部的晶圆片,是顶部硅层的基础。
Bipolar - Transistors that are able to use both holes and electrons as
charge carriers.
双极晶体管 - 能够采用空穴和电子传导电荷的晶体管。
Bonded Wafers - Two silicon wafers that have been bonded together by
silicon dioxide, which acts as an insulating layer.
绑定晶圆片 - 两个晶圆片通过二氧化硅层结合到一起, 作为绝缘层。
Bonding Interface - The area where the bonding of two wafers occurs.
绑定面 - 两个晶圆片结合的接触区。
Buried Layer - A path of low resistance for a current moving in a device.
Many of these dopants are antimony and arsenic.
埋层 - 为了 电路 电流流动而形成的低电阻路径,搀杂剂是锑和砷。
Buried Oxide Layer (BOX) - The layer that insulates between the two
wafers.
氧化埋层 (BO
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