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北京信息科技大学 《专业综合实践》报告
题
目 激光干涉微位移测量系统设计
学
专
学
姓
院
业
号
名
仪器科学与光电工程
光信息科学与技术
2011010736、744、750、728
邓伟壮、潘晗、张驰、贾希冉
指导老师
日
期
2015.1
目录
题 目 激 光 干 涉 微 位 移 测 量 系 统 设 计 . .......................................................................................1
目 录 . ...................................................................................................................................................2
一 、 方 案 要 求 . ...................................................................................................................................3
设 计 内 容 . .............................................................................................................................3
设 计 目 标 . .............................................................................................................................3
设 计 预 计 实 现 目 标 . .............................................................................................................3
二 、 方 案 调 研 及 原 理 . .......................................................................................................................3
1 、 光 学 微 位 移 测 量 的 几 种 方 法 . .............................................................................................3
光 外 差 法 . .................................................................................................................3
电 镜 法 . .....................................................................................................................3
激 光 三 角 测 量 法 . .....................................................................................................3
干 涉 法 测 量 . .............................................................................................................4
2 、 光 电 接 收 器 件 . ..........................................................................
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