GB/T 1558-2009硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法.pdf

犐犆犛２９．０４５ 犎 ８０ 　 中华人民共和国国家标准 ／ — 犌犅犜１５５８ ２００９ 代替 ／ —１ ９ ９ ７ Ｇ Ｂ Ｔ １ ５ ５ ８ 硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法 犜犲狊狋犿犲狋犺狅犱犳狅狉狊狌犫狊狋犻狋狌狋犻狅狀犪犾犪狋狅犿犻犮犮犪狉犫狅狀犮狅狀犮犲狀狋狅犳 狊犻犾犻犮狅狀犫 犻狀犳狉犪狉犲犱犪犫狊狅狉狋犻狅狀 狔 国家标准ㅤ可打印ㅤ无水印ㅤ高清原版ㅤ去除空白页 狆 ２００９１０３０发布 ２０１００６０１实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发 布 中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 ／ — 犌犅犜１５５８ ２００９ 前 言 　　 本 标 准 修改采用 ＳＥＭＩＭＦ１ ３９ １０７ ０４《硅中 代 位 碳原子 含量 红外吸收测量 方法》。 　　 本 标 准 与 ＳＥＭＩＭＦ１ ３９ １０７ ０４的 主 要 差异如下： ——— 本 标 准 在结构上主 要 依照我国 国 标 编制格式，与 ＳＥＭＩＭＦ１ ３９ １０７ ０４有所 不同； ——— 本 标 准 未引用 “偏差”、“关键词”两章内容。 本 标 准 代 替 ／ — 《硅中 代 位 碳原子 含量 红外吸收测量 方法》。 Ｇ Ｂ Ｔ １ ５ ５ ８ １ ９ ９ ７ 本 标 准 与原标 准 相比主 要 有以下变化 ： ——— 对测量 的 碳原子 含量 有效范围进行了修改，室温下从硅中 代 位 碳原子 含量 １ ５ · －３ ５ ×１ ０ ａｔ ｃｍ １ ４ －３ （ ）到碳原子 的 最大溶解度， 时检 测下限为 · （ ）； ０．１ ｐｐｍａ ７ ７ Ｋ ５ ×１ ０ ａｔ ｃｍ ０．０１ ｐｐｍａ ——— 补充了“术 语”、“干扰因素”“报告”三章； ——— 在“操作步骤”中 增加了“仪器检 查”内容。 国家标准ㅤ可打