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KP1内层P/G短路专案改善报告
2012/4/20 1
目录
?一、目的
?二、现况把握
?三、目标的订定
?四、原因分析与真因证实
?五、改善效果确认及追踪
?六、标准化作业
2012/4/20 2
一、目的
分析KPI内层P/G短路的主要成因,从制程上追根究
源,然后针对问题点会同生产、品保、维修做专案改善。
从而降低P/G短路报废,提升KPI内层整体一次良率,增强
本厂市场竞争力。
2012/4/20 3
二、现况把握
1、07年报废率推移
0 7 年 I N N E R 每 周 报 废 率 推 移 图
每 周 报 废 率
目 标 值
1 0
9 9 . 0 4 9 . 0 6
8
7 . 9 7
7
6
5
4
3
7 . 2
4 . 5 9
3 . 6 7
6 . 8 46 . 8 4
6 . 3 2
5 . 9 2
5 . 3 5
5 . 0 5
4 . 6 64 . 6 5
4 . 1 2
5 . 7 8
4 . 8 9
4 . 5
7 . 1 77 . 3 4
5 . 8 8
5 . 5 5
4 . 9 7
2
1
0
0 7 2 1 0 7 2 2 0 7 2 6 0 7 2 7 0 7 2 9 0 7 3 0 0 7 3 1 0 7 3 2 0 7 3 3 0 7 3 4 0 7 3 5 0 7 3 6 0 7 3 7 0 7 3 8 0 7 3 9 0 7 4 1 0 7 4 2 0 7 4 3 0 7 4 4 0 7 4 5 0 7 4 6 0 7 4 7 0 7 4 8
周 期
对07年每周(WW21-WW48)的整体报废数据做统计分析:
报废Rate:3.67~9.06%,
AVG:5.54%
2012/4/20 4
2、对8-10月份报废缺陷进行pareto分析
P a r e to C h a r t o f D E F E C T ( 8 -1 0 M O N T H )
70000
1 0 0 60000
8 0 50000
40000
6 0
30000
4 0 20000
2 0
10000
0 0
D E F E C T
C o u n t 17556 12157 5399 4834 4486 3645 3639 3268 2727 2289 1839 1802
P erc en t 27.6 19.1 8.5 7.6 7.0 5.7 5.7 5.1 4.3 3.6 2.9 2.8
C u m % 27.6 46.7 55.2 62.8 69.8 75.5 81.3 86.4 90.7 94.3 97.2 100.0
对8-10月份报废缺陷进行pareto分析,发现P/G短路累积报废面积17556FT2,对整
体报废的贡献度为27.6%,是内层前工序贡献度排第一位的主要报废缺陷,由此
可以确定此次专案的改善方向和改善项目,后续针对P/G短路展开专案改善.
2012/4/20 5
3、分析8-10月份P/G短路的现况
8-10 INNER P/G短路推移图
P/G短路
8.00%
7.46%
7.00%
6.00% 5.95%
5.00%
4.64%
4.00%
3.07% 3.00% 2.99% 2.98%
1.00%
2.45%
2.14%
1.62%
1.25%
0.93%
1.416.%55%
1.29%
1.04%
1.44%
1.116.%117.%010.%18%
2.15%
1.691%.811.%74%
1.68%
1.24%
2.20%
1.43%
1.25%
1.16%
0.98%
0.91%
0.802.%916.%06%
1.24%
0.96%
2.00%
1.77%
0.00%
报废率
对8-10月份的P/G短路的数据做统计分析:
P/G短路
AVG:1.89%
2012/4/20 6
4、报废原因的分析:对54PCS的P/G内短报废板剥板,分析报废原
因并统计各原因的贡献度。
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5、缺陷图片与贡献度
孔内凸铜(79.6%) 铜碎(9.26%)
钻偏(3.7%)
涨缩(3.7%)
2012/4/20 8
6、分析小结
从P/G板剥板的比例可知,内层P/G短路主要是内层铜点(孔内铜
点)造成,铜点对成品P/G短路的报废率贡献度为79.6%,根据80/20原
则确定:改善内层铜点是改善内层PG-Short的主要方向。
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三、原因分析与真因证实
1、P/G短路特性原因分析
测量 设备 人
X-RAY精度没有
做定期校正
曝光机真空
密封墊老化
掉屑
AOI 漏测
底片生产25片沒有检查对
准度
自动曝光机或半自动曝
光机人为改动PE参数
蚀刻管位距
板没有测量
底片上机前
没有测量
钻机的精准度超出
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