mf5712气体流量计使用说明书.doc

MEMS 气体质量流量计 MF5700 系列 (VA.1) SIARGO LTD. 广州迪川仪器仪表有限公司 L td . 提供世界领先的 流量传感器技术及产品，以满 （ DICH. ） M E M S 足客户广泛的应用需求。本手册为现有定型产品的使用说明，广州迪川仪器仪表有限公司也能够根据 客户的要求设计和定制产品。进一步的信息，请直接与 广州迪川仪器仪表有限公司联系 1.产品特点 ? 传感芯片采用热质量流量计量，无需温度压力补偿，保证了流量计的高精度计量 ? 灵敏度高，能够对极小的始动流量就可以开始计量 ? 在单个芯片上实现了多传感器集成，使其量程比达到了50:1甚至更高 ? 全量程高稳定性、高精确度和优良的重复性 ? 支持多种气体的测量，允许客户对某些特殊气体进行现场标定 ? 响应速度快 ? 输出方式灵活，提供LC D现 场显示，也可提供R S 485通讯接口由上位机查询输出数据 ? 可通过按键配置参数 ? 具有超量程报警指示功能 ? 便携式设计，电池供电和外部供电方式可以任意切换 ? N P T连接方式，易于安装与使用，也可根据客户需求定制其他接口 2.产品应用 机电行业 食品行业 烟草行业 分析仪器行业 化工行业 饮料行业 玻璃行业 科研院校 医药行业 农林渔业 M F5700 1/11 3.工作原理 M F5700系列气体质量流量计是基于 自主研制的M E M S流 量传感芯片，其 广州迪川仪器仪表有限公司 原理是利用流动气体传热传质的依存关系，在其上、下游产生温度变化而得到气体的质量流量。 该流量计同时实现热源的产生与温度的测量。当芯片处于工作状态时，在传感器的周边形成稳定的 温度场分布。一旦一定质量的气体流过传感器时，气体的流动将破坏该温度场的分布，形成特定 的、取决于该气体的质量和速度的温度场分布。微机电系统流量计芯片上的传感器将测量这一变化 并把这一变化转换为电信号，由一个专门的电路变送器对此信号进行放大、调理并作线性化处理。 由于不同质量的气体对传感器的周边形成稳定的温度场分布所产生的扰动不同，因而能测量气体的 质量流量或总流量。下图为该系列流量计的原理框图。 (3.6～9)V DC 选配线缆 电池 电路 RS 485 通讯接口 报警模块 按键检测 接口 RTC 模块 电源 模块 3V供电 EEPROM 存储器 高速 显示与按 键驱动 驱动 电路 （可选） 微控制器 0 0 x1 u1 LCD 显示器 MEMS 流量 传感芯片 缓冲器 滤波器 放大器 信号调理电路 A /D 转换器 M F5700 2/11 4.性能指标 性能参数 MF5706 MF5712 单位 量程 0～10，25 0～200 L/m in 精度 ± (2+0.5FS) ± (2.5+0.5FS) % 重复性 0.5 % 响应时间 ≤ 2 sec 供电方式 4节AA电池或外部适配电源 功耗 ≤ 10 mW 输出方式 RS485 (选配) 显示方式 LCD 显示单位* 瞬时流3量：SLPM (L/min)；累积流量：NCM (m ) 显示分辨率 0.01 0.1 L/m in 键盘 三个按键 功能描述 密码设置；总量设置和清零；报警功能 工作压力 ≤ 0.8 MPa 工作温度 -10 ～ 55 ℃ 压力损耗 ≤600 ≤2000 Pa 工作时间周期（电池） 60 天 标准校准气体 氮气 引出线 专用miniUSB连接通讯电缆(选配) 管径 6mm 12mm mm 机械接口** NPT 1/4 NPT 1/2 重量 约350 g * SLPM -标 准升每分钟，N CM -标 准立方米； ** 可根据要求定制。 M F5700 3/11 5.机械尺寸 L(mm) W(mm) D MF5706 67 40 NPT 1/4 MF5712 98 50 NPT 1/2 红色 黑色 w 绿色 棕色 蓝色 注： 1）按照箭头指示方向接入气流，如果反接，则显示的流量将始终为0; 2）产品可以选配一根1米长带M iniU SB插头的连接通讯电缆，该线缆可以实现外部供电和通讯； 其引线定义见8.1。 6.产品选型与流量对比 MF - - - - 气体介质（A -空 气；N -氮 气；O -氧 气；R -氩 气；C -二 氧化碳；其 它气体与厂商联系。） 输出（B-RS485；N -无 信号输出） 最大流量（数值，单位为SLPM (L/m in )，M F5706最大流量为10或25; F5712最M大流量为200或800) 连接（N-NPT；Y-用户自定义） 通径（管道内径，5706-6m m ；5712-12m m ) 型号 通径 机械接口 流量范围 SLPM NCMH MF5706 6mm 1/4 10 25 0.6 1.5 200 12 MF5