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光刻胶的一些问题;2、下层反射造成驻波，下层散射降低图像分辨率。;驻波对于光刻图形的影响;光刻步骤简述;光刻步骤详述;硅片对准，曝光;坚膜：10～30 min，100～140 ?C;Stepper Scan System;图形转移——刻蚀;图形转移——剥离（lift-off）;去胶
溶剂去胶 （strip）：Piranha (H2SO4:H2O2)。
正胶：丙酮;光源;248 nm;2、Reducing resolution factor k1;Alternating PSM
Attenuated PSM
……;2.光学光刻分辨率增强技术(RET) ;OPC实例;3、离轴照明技术 OAI (off-axis illumination);Mask design and resist process;Lens fabrication;21;22;EUV;Minimum feature size ;EUV（Extreme ultra violet);反射式掩模版;电子束图形曝光;光栅扫描（左）和矢量扫描;电子束光刻问题：1）速度慢！;电子束光刻问题：2）电子散射及二次电子：线条宽束斑;电子束源：
热电子发射
场发射
光发射;电子束抗蚀剂;邻近效应;X射线图形曝光（XRL）;35;X射线图形曝光的几何效应;离子束图形曝光;不同图形曝光方法的比较;各种图形曝光技术的比较如下;光刻总结;1、有时候读书是一种巧妙地避开思考的方法。5月-205月-20Sunday, May 24, 2020
2、阅读一切好书如同和过去最杰出的人谈话。12:30:3712:30:3712:305/24/2020 12:30:37 PM
3、越是没有本领的就越加自命不凡。5月-2012:30:3712:30May-2024-May-20
4、越是无能的人，越喜欢挑剔别人的错儿。12:30:3712:30:3712:30Sunday, May 24, 2020
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12、这一秒不放弃，下一秒就会有希望。24-May-2024 May 20205月-20
13、无论才能知识多么卓著，如果缺乏热情，则无异纸上画饼充饥，无补于事。Sunday, May 24, 202024-May-205月-20
14、??只是自己不放过自己而已，现在我不会再逼自己眷恋了。5月-2012:30:3724 May 202012:30
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