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- 2020-06-09 发布于四川
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- | 2014-12-31 颁布
- | 2015-09-01 实施
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ICS29.045
H 80
中华人 民共和 国国家标准
/ —
GBT13389 2014
代替 / —
GBT13389 1992
掺硼掺磷掺砷硅单晶电阻率与
掺杂剂浓度换算规程
国家标准ㅤ可打印ㅤ可复制ㅤ无水印ㅤ高清原版ㅤ去除空白页
Practiceforconversionbetweenresistivitanddoantdensitforboron-doed,
y p y p
,
hoshorus-doed andarsenic-doedsilicon
p p p p
2014-12-31发布 2015-09-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
发 布
中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会
/ —
GBT13389 2014
前 言
本标准按照 / — 给出的规则起草。
GBT1.1 2009
/ — 《 》,
本标准代替 GBT13389 1992掺硼掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程 参照 SEMI
《 》 / — 。
MF723-0307掺硼掺磷掺砷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程 对 GBT13389 1992进行修订
/ — , :
本标准与 GBT13389 1992相比 主要有以下变化
——— ()、()、(), 、
增加了公式 5 6 7 即砷的掺杂剂浓度换算电阻率 掺硼硅单晶电阻率换算空穴浓度和
掺磷硅单晶电阻率换算电子浓度的公式以及相应的适用范围;
——— ,
由于所有公式都是经验公式或是试验结果 因此本标准中给出了公式的试验依据以便于使用
者更好地了解和使用这些换算规程;
———增 ( );
加干扰因素 见第 章
6
———
增加了附录和参考文献。
国家标准ㅤ可打印ㅤ可复
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