GB/T 15861-2012离子束蚀刻机通用规范.pdf

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| 2012-11-05 颁布
| 2013-02-15 实施

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ICS31-550 L97 中华人民共和国国家标准 / — GBT15861 2012 代替 / — GBT15861 1995 离子束蚀刻机通用规范 Generalsecificationofionbeametchin sstem p gy 国家标准ㅤ可打印ㅤ可复制ㅤ无水印ㅤ高清原版ㅤ去除空白页 2012-11-05发布 2013-02-15实施中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布中国国家标准化管理委员会 / — GBT15861 2012 前言本标准按照 / — 给出的规则起草。 GBT1.1 2009 本标准代替 / — 《离子束蚀刻机通用技术条件》。 GBT15861 1995 本标准与 / — 相比主要变化如下: GBT15861 1995 ——— — 由 / — 代替, — 由 / — 代替; GBn193 1983 GBT13384 1992 SJ2573 1985 SJT10674 1995 ——— [ )]; 环境温度调整为见 20℃±10℃ 5.1a ——— , ( ); 束能量范围调整为0~2000eV 可调见 5.4.1 2 2 2 2 ——— / / , / / ( ); 表中束流密度调整为调整为见表 1 0.5mA cm ≥0.3mA cm 1mA cm 0.8mA cm 1 2 ); / ( 增加束能量为 2000eV时束流密度≥1mA cm 见表 1 ———有效束径规格增加了

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