汤剑波YMOCVD尾气中氨气回收和循环利用.ppt

MOCVD的NH3气數统 卫E集团  HEDL 目录 ■前言 ■ MOCVD氨气背景资料 ■氨气的理化性质 现有氨气尾气处理方法 正帆氨气回收系统介绍 总结 confidents 2 acky Tang  HEDL MOCVD背景资料 ■ MOCVD生长GaN的反应中氨气必须大量过量: 氨气的排出量通常约为进气量的70%~80% 截止至2011年底,国内产业化的 MOCVD机台数量已达 700多台。 (数据来源于高工LED产业研究院) 2011年国内的高纯氨消耗大约在20000吨: 直接排放或者需要处理的氨气量每年多达14,000-16,000吨 (数据来源于各大气体公司) confidents 3 acky Tang  HEDL 氢气的物化性质 ■在钢瓶内以液氨形式存在 ■常温常压下,呈无色并具有刺激性的碱性气体 极易溶于水 ■氨是强结合的稳定化合物 常压下,454℃以上会产生少量分解 液氨沸点-3343℃,蒸发热为1,337kJ/kg 在空气中的燃烧范围为16%25% 半数致死浓度(Lc50)为7,338ppm 工作场所限制浓度阈值( TLV-TWA)为25ppm confidents acky Tang  HEDL 现有氢气尾气的处理方法 喷淋吸收法 用硫酸水溶液吸收废气中的氨,为了提高氨的吸收效率,吸收液 需保持一定的酸度,厂内需贮存大量的硫酸。吸收氨后,产生的洗涤 塔废液为硫酸铵,目前大部分企业都是直接稀释排放,造成环境污染; 少部分企业会委托专门的废弃物处理公司进行处理。 ■优点 ■缺点 √初期设备投入成本低 √对环境造成的污染大 ˇ处理方法简单 后续废弃物处理成本 √设备占地面积大,噪 声大,气味重 confidents acky Tang