GB/T 5252-2020锗单晶位错密度的测试方法.pdf

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  •   |  2020-06-02 颁布
  •   |  2021-04-01 实施

GB/T 5252-2020锗单晶位错密度的测试方法.pdf

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ICS77.040 H21 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT5252 2020 代替 / — GBT5252 2006 锗单晶位错密度的测试方法 Testmethodfordislocationdensitofmonocrstalermanium y y g 2020-06-02发布 2021-04-01实施 国家市场监督管理总局 发 布 国家标准化管理委员会 / — GBT5252 2020 前 言 本标准按照 / — 给出的规则起草。 GBT1.1 2009 / — 《 》。 / — 本标准代替 GBT5252 2006锗单晶位错腐蚀坑密度测量方法 本标准与 GBT5252 2006 , : 相比 除编辑性修改外主要技术变化如下 ——— ( , ); 修改了标准适用范围 见第 章 年版的第 章 1 2006 1 ——— ( ); 增加了规范性引用文件 见第 章 2 ——— ( , ); 修改了术语和定义 见第 章 年版的第 章 3 2006 2 ——— ( , ); 修改了方法原理的内容 见第 章 年版的第 章 4 2006 3 ——— “ ” ( , ); 将 年版标准 试样制备 中的试剂材料修改为单独章节 见第 章 年版的第 章 2006 5 2006 4 ——— ( , ); 修改了试样制备的要求 见第 章 年版的第 章

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