2019年集成电路的基本介绍.ppt

JSIT 半导体集成电路 31 ? 1.1.1 工艺流程 （续 6 ） ? 蒸镀金属 ? 反刻金属 P-Sub N+ N+ N- N- P+ P+ P+ P P JSIT 半导体集成电路 1 简介 JSIT 半导体集成电路 2 本课程性质和要求 课程性质： 本课程是一门将半导体物理、微电子工 艺、微电子器件原理、电子线路等相关知识 集于一体的、将微观的器件设计、电路设计 与宏观的外部应用特性以及加工工艺密切结 合的 综合性课程 ，它体现了所学知识的内在 联系和综合运用，是 专业主干课程 ，是考试 课程。 JSIT 半导体集成电路 3 本课程性质和要求 课程要求： 重点掌握集成电路的基本工作原理和设 计技术。以基础为重点，以内在联系为引线， 提高知识的综合运用能力。同时了解新技术 的发展。 成绩记载方式： 平时成绩占 40% （包括出勤，课上提问， 作业，阶段性测试），期末考试占 60% JSIT 半导体集成电路 4 本课程平时成绩考核要求 1 、基本分为 70 2 、扣分情况：缺勤，迟到，作业不交，作 业质量低，上课态度不端正 3 、加分情况：全勤，上课认真，作业完成 质量好 JSIT 半导体集成电路 5 分立器件和分立器件构成的电路 JSIT 半导体集成电路 6 JSIT 半导体集成电路 7 集成电路的定义： 将多个元器件（如晶体管、二极管、电 阻等）集成在一块芯片上，并用互连线 进行连接，得到能实现一定功能的电路。 2010 年 9 月 7 日 JSIT 半导体集成电路 8 概念解释 3DK4 管芯 9 J. Kilby 生于 1923 年， 1958 年发明集成电路， 2000 年获 Nobel 奖， 2005. 6. 20 去世 。 R. Noyce ，生于 1927 年。 Intel 的创始人之一， 1959 年独立发明集成 电路， 1990 年去世。 集成电路诞生 JSIT 半导体集成电路 10 一、集成电路发展历程 1952 年 G.W.A.Dummer 在华盛顿学会上 提出了集成电路 (IC — Integrated Circuit) 的概念： 把多个器件及其间的连线以批加工方式 同时制作在一个芯片上。 JSIT 半导体集成电路 11 一、集成电路发展历程 1958 年 美国无线电公司 Wallmark 等人发 表了 PN 结隔离 (Isolation) 的思想 : 把多个器件制作在一个芯片上，器件之 间必须实现电隔离，使每个器件相对独立。 JSIT 半导体集成电路 12 一、集成电路发展历程 1959 年 TI 公司研制出第一块集成电路 （四个晶体管） ~1963 年 DTL 、 TTL 、 ECL 、 MOS 、 CMOS 集成电路相继出现 JSIT 半导体集成电路 13 JSIT 半导体集成电路 14 一、集成电路发展历程 1965 年 仙童半导体公司 (Fairchild) 戈 登 ? 摩尔提出 Moor 定律： 每一代（ 3 年）硅芯片上的集成密度翻 两番。 加工工艺的特征线宽每代以 30% 的速 度缩小。 集成度 : 单个芯片上集成的器件数 JSIT 半导体集成电路 15 一、集成电路发展历程 70 年代末 80 年代初 开始发展专用集成电 路（ ASIC — Application Specific Integrated Circuit) 90 年代中末期 开始发展片上系统（ SoC — System on Chip) JSIT 半导体集成电路 16 一、集成电路发展历程 集成电路规模 SSI (Small Scale Integration) 10 2 MSI (Middle Scale ~) 10 2 -10 3 LSI (Large Scale ~) 10 3 -10 4 VLSI (Very Large Scale ~) 10 5 -10 7 ULSI (Ultra Large Scale ~) 10 8 JSIT