EBARA 维护操作手册.doc

文件名称：EBARA pump维护操作标准 页 次： PAGE 1/6 文件编号： 生效日期： 文件版本： 制定单位： 目的 当需要进行对EBARA pump进行维护时，提供的标准操作流程。 适用范围 对VEECO K465i机台的EBARA pump适用。 操作流程步骤 充气至760AV 184碟阀 充气至760 AV 184 碟阀 图1 2.关闭EBARA进气阀门，如图2。注意：关掉进气手动阀后让pump继续运行30分钟，以防止pump内的副产物造成腐蚀或发生反应。 图2 3、在LCD控制面板上按下STOP键，停止pump运转。如图3。注意： 为了从pump中去除残余的工艺气体，在pump停止工作后用 N2 气体进行至少 1 小时的清洗，至少要让冷却水循环一小时以冷却pump。在pump关闭后，pump温度仍然很高，请务必小心操作。 图3 4.按下红色的紧急停止按钮，关闭pump的电源开关（机台后方的电源开关）。并停止冷却水和N2气体的供应，如图4。 图4 5.拆除冷却水进出管，N2气管，电源接头，控制接头、EBARA的进气管道和排出的管道。如图5 N2气管 N2气管 冷却水进出管,黑进红出 进气管道 控制接头 电源接头 出气管道 图5 6.将pump移出机台，送至维护区进行拆开清理维护。 7.维护完将EBARA移回机台，进行冷却水进出管，N2气管，电源接头，控制接头、EBARA的进气管道和排出的管道的连接，如图5 8.开启冷却水，打开水冷系统的进水阀和出水阀。注意：每分钟必须达到3.5L 9.打开氮气进气管路的 N2 气流。打开 N2 清洗阀。注意：要求N2流量达到20L/min 10.缓慢地顺时针旋开 N2 调节器，将调节器压力设置为 0.1Mpa。然后按下调节器旋钮上的红色限位器锁定，如图6。 0.1Mpa 0.1Mpa 图6 11.打开泵的外部电源和漏电保护，此时LCD 控制器将显示 10 秒的倒计时 12. 按下LCD控制器上的Start按钮 启动泵，主泵启动，MP RUN LED 亮起。如图7 图7 13.pump必须运行至少 30 分钟，pump温度至少达到90℃后方可打开EBARA的进气阀。如图8 图8