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工业气体产业链研究报告 2020年7月 特种气体概况 工业气体 ：工业“血液” 工业中，把常温常压下呈气态的产品统称为工业气体。工业气体是现代工业的 础 原材料，在国民经济中有着重要的地位和作用，工业气体行业原材料是空气、工业废气、 础化学原料等，其上游行业是气体分离及纯化设备制造业、 础化学原料行业、压力 容器设备制造业等。下游领域包括集成电路、液晶面板、LED 、光纤通信、光伏、医疗 健康、节能环保、新材料、新能源、高端装备制造等新兴行业以及冶金、化工、机械制 造等传统行业，对国民经济的发展有着战略性的支持作用，因此被喻为“工业的血液”。 根据制备方式和应用领域的不同，工业气体可分为大宗气体和特种气体，大宗气体 主要包括氧、氮、氩等空分气体及乙炔、二氧化碳等合成气体，特种气体品种较多，主 要包括电子特种气体、高纯气体和标准气体等。 图1 ：工业气体产业链及分类 资料来源：金宏气体招股说明书、市场研究部 特种气体 ：现代工业“粮食” 特种气体是工业气体中的一个新兴门类，是随着近年来国防工业、科学研究、自动 化技术、精密检测，特别是微电子技术的发展而发展起来的。20世纪80年代，电子产 业的兴起推动特种气体的需求提高，外资开始通过收购、新设等方式建立气体公司进入 中国气体市场，向国内气体用户提供气体产品，随着气体供应商供气模式的引入，国内 企业原有的气体车间、气体厂和供气站等纷纷发展为独立的气体公司，国内特种气体市 场逐步发展起来。 - 5 - 图2 ：中国特种气体行业发展历程 资料来源：前瞻产业研究院、市场研究部 从应用领域划分，特种气体主要有电子气体、高纯气体和标准气体三种，广泛应用 于电子半导体、化工、医疗、环保和高端装备制造等领域。其中，电子气体是指用于半 导体及其它电子产品生产的气体，目前，我国电子气体品种 本齐全，但数量和质量与 发达国家相比，尚有较大差距 ；高纯气体通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯 度的气体，对于不同类别的气体，纯度指标不同，大多用于超大规模集成电路及分离器 件、光电子等高科技领域 ；标准气体严格意义上应称为标准校正气体，是一种高度均匀， 稳定性良好和量值准确的气体，可分为单元标准气体和多元标准气体，目前标准气 本 满足了我国石油、化工、环保、传感器校核等诸多领域的需求，但对活性较强的标准气， 国内尚无法彻底解决量产问题。 图3 ：特种气体主要品种及发展情况 名称 主要品种 发展情况 氢化物 ：超纯氨、硅烷、磷烷 、砷烷、氢化锑 氟化物 ：六氟化硫、三氟化氮 目前，我国电子气体品种 本齐全，但数量和质量与发达国家 电子气体 、三氟化硼、五氟化磷、四氟 相比，尚有较大差距。随着半导体和微电子工业的迅猛发展， 化硅 对电子气体的品种、数量、质量及纯度提出了更高的要求。 碳氟化合物 ：四氟化碳、六氟 乙烷等 高纯气体大多用于超大规模集成电路及分离器件、光电子等高 N 2 、O2 、H2 、He 、Ar 、CO2 主要 科技领域。当前国内公司主要靠精馏分离制备高纯气，国外公 高纯气体 等，纯度5N （99 .999% ） 司在制备某些高纯气体时采用吸附剂净化的方法，实现了常压 净化和高压提纯充瓶。国内企业的提纯技术有待提高。 单元标准气体 目前标准气 本满足了我国石油、化工、环保、传感器校核等 诸多领域的需求。但对活性较强的标准气，国内尚无法彻底解 标准气体 多元标准气体 ：由两种或两种 决量产问题，如氯标气、氟化氢标气、氯化氢标气、丙烯醛标 以上组分气配制而成 气等。 资料来源：《2018 年工业气体行业趋势分析未来将呈现六大变化》、市场研