微纳光学终版.ppt

优选 微纳光学的学习报告 报告人：吕超 报告内容 微纳光学概念与研究方向 微纳光学结构制备方法 微纳光学器件应用及前景 优选 * 微纳光学概念与研究方向 微纳光学 微纳光学主要指微纳米尺度的光学效应，以及利用微纳米尺度的光学效应开发出光学器件、系统及装置。它所研究的是在微纳尺度下光电子的运动传输特性、光电子与物质的相互作用规律、相关的操控及其应用技术等。通过它我们希望实现在微纳尺度上，光波的发射、传播、变换和接收。 微纳光学不仅是光电子产业的重要发展方向之一，也是目前光学领域的前沿研究方向。微纳光学的发展随着大规模集成电路工艺水平的进步而发展，光存储、光通信、光显示、激光器和激光材料等多个光电子产业都进入了微纳米光学领域，并且影响到了整个光学及其其他学科的进步。 优选 * 主流的微纳光学研究方向 优选 * 微纳发光材料和器材 微纳发光材料主要采用微纳颗粒作为发光基质，包括纯的及掺杂的微纳半导体发光材料，稀土离子及过度金属离子掺杂的纳米氧化物、硫化物、复合氧化物、及各种微纳无机盐发光材料等。微纳发光材料主要用于各种微纳发光器件如微纳发光二极管或微纳激光器的设计及制备，它可以实现宏观块体材料所不具备的发光性质。 优选 * 微纳光波导材料及器件 微纳光纤是微纳光波导材料的典型代表。按照材料划分，微纳光纤可分为玻璃光纤（包括石英系玻璃光纤光纤、卤化物玻璃光纤及硫系玻璃光纤）、塑料光纤、晶体光纤等。 纳光纤器件包括光纤无源器件（分为光纤连接器、光纤耦合器、光隔离器、光波分复用器和解复用器、光开关、光衰减器、光纤光栅、光纤滤波器等）、光纤激光器、光纤放大器等。 优选 * 微纳光探测材料及器件 微纳光探测器件用于实现光信号的转换和检测，是光电信息系统的关键环节和技术，主要包括光敏电阻、电二极管、光电池等器件。光敏电阻的主要材料包括微纳尺度的金属硫化物、硒化物和碲化物等。光电二极管的主要材料包括微纳尺度的硒、硅、锗等。光电池的材料主要包括微纳尺度的单晶硅、非晶硅、化合物、多晶硅等。 优选 * 微纳光学结构器件 微纳光学结构技术是指通过在材料中引入微纳光学结构，实现新型光学功能器件。光子晶体就是规律性的三维微结构，其周期远小于波长，形成光子禁带，通过引入局部缺陷，控制光的传播与分束。 光栅可以看作是一维或者二维的光子晶体，通过引入微纳结构可以实现新的光学性能。 优选 * 微纳光学结构制备方法 微纳光学结构制备方法 微光学等离子体刻蚀加工技术 利用灰度加工技术完成图形成形和等离子刻蚀，再将图形轮廓转印到基板中。 灰度光刻术是，制造出一种光掩模，使得透射通过该掩模的光辐射强度随空间位置变化。 相位光栅掩模板的模拟光刻技术 光束通过相位光栅掩模板，GCA步进器，形成模拟光强轮廓，对光致腐蚀剂正确曝光和显影。 光学步进器是一种图像缩小系统，相干成像系统。 优选 * 光学步进器 优选 * 微纳光学结构制备方法 电子束纳米光刻技术 利用高聚焦电子束对电子敏感抗腐蚀剂表面的确定性扫描，使用各种正性和负性抗腐蚀剂作为刻蚀模板。 纳米压印光刻术 利用模具并通过机械方法使得某种柔软或液态材料（即抗蚀剂）变为模具表面图形的固态形式和复制阴模。 优选 * 纳米压印光刻术 压模板（采用电子束直写制作） 压模板压印 压模板移走 图像转移完成 优选 * 优选 优选 优选 优选 优选 优选 优选 优选 优选 优选 优选 优选 优选 优选 优选 优选 优选 优选 优选 优选 优选 优选 优选 优选 优选 优选 优选 优选 优选 优选 优选 优选 优选 优选 优选 优选 优选 优选 优选 优选 优选 优选 优选 优选 优选 优选 优选 优选 优选 优选 优选 优选 优选 优选 优选 优选 优选 优选 优选 优选