4.电容式传感器[1].pdf

2013-9-16  第三章第三章 电阻式传感器电阻式传感器 ••应力和应变应力和应变 ••应变片式传感器：应变片式传感器： 原理、结构原理、结构 金属应变效应金属应变效应 性能指标：灵敏系数、横向效应和温度特性性能指标：灵敏系数、横向效应和温度特性 •• 固态压阻式传感器固态压阻式传感器 压阻效应压阻效应压阻效应压阻效应 •• 电阻式传感器测量电路电阻式传感器测量电路 直流电桥直流电桥 •• 电阻式传感器的医学应用电阻式传感器的医学应用 第四章第四章第四章第四章 电容式传感器电容式传感器电容式传感器电容式传感器 第一节第一节 基本工作原理、结构及特点基本工作原理、结构及特点 第二节第二节第二节第二节 电容传感器的测量电路电容传感器的测量电路电容传感器的测量电路电容传感器的测量电路 1 2013-9-16 第一节第一节 基本工作原理、结构及特点基本工作原理、结构及特点  将被测非电量的变化转换为电容量变化的将被测非电量的变化转换为电容量变化的 传感器器件传感器器件 •• 结构简单、适应性强结构简单、适应性强 •• 温度稳定性好温度稳定性好 •• 动态响应好动态响应好 •• 能够实现非接触式测量能够实现非接触式测量 S   S C 0 r (PF) d d C C ———— 电容量电容量(PF)(PF) 22 εε SSSS ———— 极板覆盖面积极板覆盖面积极板覆盖面积极板覆盖面积 (cm(cm(cm(cm)))) d d ———— 极板间距极板间距(cm)(cm) εε ———— 介质的介电常数介质的介电常数 εε ———— 真空介电常数真空介电常数 0 0 εε ————介质的相对介电常数介质的相对介电常数 r r 电容式传感器 变间隙型 变面积型 变介质型 2 2013-9-16 一、一、 变极距型电容传感器变极距型电容传感器 极板1 初始状态初始状态 SS