微电子生产设备安装工程施工及验收规范 施工专业.pdfVIP

中华人 民共 和 国 国家 标 准 微 电子生产 设 备 安装 工 程 施 工 及 验 收规 范 — C o e or con stru ct on an acce an ce o m cro e ectron cs d f i d pt f i l i m an u actur n e u m en t n s a a on en n eer n f ig q ip i t llti gi ig G B 5 0 4 6 7 — 2 0 0 8 主 编部 门： 中华 人 民共 和 国工 业 和 信 息 化 部 批准部 门： 中华人 民共 和 国住房 和城 乡建设部 施行 日期 ：2 0 0 9 年 7 月 1 日 中国计划 出版 社 2 0 0 9 北 中华 人 民共 和 国 国家标 准 微 电子 生产 设 备 安 装 工 程 施 工 及 验 收 规 范 G B 5 O 4 6 7— 2 0 O 8 ☆ 中华 人 民共 和 国工 业 和信 息化 部 主编 中 国计 划 出版 社 出版 (地 址 ：北 京 市 西 城 区木 樨 地 北 里 甲 ¨ 号 国宏 大 厦 C 座 4 层 ) (邮政 编 码 ：1 oo0 3 8 电话 ：6 3 9 O 6 4 3 3 6 3 9 O 6 3 8 1 ) 新华 书店北 京发行所发行 世 界知识 印刷 厂 印刷 8 5 O × l16 8 ． 1 3 2 2 2 5 5 5 毫米 ／ 印张 千 字 2 ()(]9 年 5 月 第 1 版 2 0 0 9 年 5 月 第 1 次 印刷 印数 1 1O 1O 0 册 ☆ 一 · 统 书号 ： 15 8 O l7 7 1 6 7 ．