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微电子实践探索论文 微电子技术是建立在以集成电路为核心的各种半导体器件上的 技术，是信息技术的基础和支柱， 是世纪发展最活跃和技术增长最快 的高新科技。 微电子产业作为国民经济和社会发展的战略性、 基础性 和先导性产业， 是世界各国及地区经济科技竞争的战略制高点， 也是 聚集创新要素和投人资源最多的领域。 1 微电子技术实训平台建设的重要性 (1) 课程体系建设的需求。 作为承担工程实践教学的工程训练中 心，我们从“学以致用”的人才培养理念出发，形成了服务于全校学 生的以能力培养为核心， 融合知识、能力、素质为一体，基于分层次、 多模块、重集成的实训教学模式。 微电子技术实训的课程是机电工程 综合课程体系的主要组成部分，它由工程认识、工程训练、工程综合 创新几个层次的教学内容所组成。 (2) 综合能力培养的需求。 工程训练教学的主要目标是培养学生 的工程实践能力、技术应用能力、系统设计能力和创新创业能力，而 微电子技术实训是实践性教学的重要课程之一， 在电子信息技术飞速 发展的时代，微电子技术具有极强的渗透性和广阔的发展前景 :4, 相 关模块的训练可提高学生分析问题解决问题的能力， 培养学生科学研 究的兴趣，激发学生的创新意识。 (3) 校企顺利接轨的需求。 微电子技术相关企业对环境要求非常 高，通常很难大批学生到生产现场实习参观， 且为了防止企业核心技 术泄密，一般实习也是走马观花， 或者在专业实验室用一些基本实验 来代替 5。工程训练中心以社会需求为向导，以实际工程为背景，以 工程技术为主线 ?7，建设微电子技术实训平台， 具有独特的实践教学 资源优势，有利于校企顺利接轨， 为卓越工程师培养提供了有力保障。 2 建设目标 微电子技术实训平台主要面向理工科专业学生，是一个特色鲜 明的实训教学平台， 也是产学研一体化的重要体现。 它基于半导体物 理实验室，按照企业超净车间标准，构建微电子工艺实训平台，净化 等级达到万级。实训平台的定位目标是，培养学生较高的了程素质、 较强的实验技能和动手实践能力。 实训平台既可以满足一般性工程认 识工程训练课程教学模块的需要， 又可以满足学生完成半导体物理专 业课程相关的实训项目和更高层次的创新性项目需要。 3 平台构成实训平台 主要由：缓冲区、更衣室、风淋间、实训教学区、曝光区、气 体间等区域构成，如图 1 所示。和头发 ) 污染，进人实训教学区域内 的所有人员需更换防尘服， 佩戴口罩和手套防尘服采用不掉毛、 防静 电的纤维制成，可穿在日常衣服的外面。 (3) 风淋间。为了减少由于人员、 原料物进出所带来的大量尘埃 粒子，经高效过滤器过滤后的洁净气流由可旋转喷嘴从各个方向喷射 至人体、原料物上，有效而迅速清除尘埃粒子。 (4) 实训教学区。 为了提高实践教学的效果， 该区配备了多媒体 教学设备可同时进行理论教学和实践教学。 (5) 曝光区。针对实训过程有特殊要求的 T. 艺步骤，设置了黄 色光源的曝光区，可进行光刻、匀胶等。 (6) 气体间。为保证实训教学 K 域安全， 对实训过程中吋能使用 的气体进行单独存放。气体配有氮气、氧气、氨气、硅烷等。 4 功能分区 在器件及工