蚀刻检验规范.pdf

1、目的：蚀刻产品首件、巡检、检验规范化 2、适用范围：适用于ITO 蚀刻线 3、职责：制造部：首件制作与自检 品管部：首件、巡检确认及产品的品质判定 4、工具：滴定台 方阻仪 万用表 光台 目测 5、检验方式：（仅针对外观检验部分） 眼睛距离待检产品的距离应为 300~400mm， 在产品的检验上 方400~500mm 处放置一盏12~20 瓦的冷白色的荧光灯，产品与检验 员视线成 45 度角，产品平放光台上进行检验 ；如图: 6、 抽样频率：正常生产1-3 片后需做首件确认；每次抽样5 片 7、作业内容： 7.1.蚀刻前准备工作: (1) 生产设备的检查:酸蚀段、碱蚀段的洁净度及风干段水洗部分的 各个喷头要畅通,不能有堵塞现象, 风干段传送须运转良好,吸水 海棉要干净,喷淋压力和运转速度按 《ITO 蚀刻生产工艺》要求 来设定。 (2) 酸碱浓度的检测:每次开启机器,加热到规定温度后,蚀刻前需 由相关人员对槽内的酸碱溶液进行浓度的检测,若浓度符合 《 ITO 蚀刻生产工艺》规定的蚀刻浓度,则可进行蚀刻,反之若浓 度不符规格要求,则按《 ITO 蚀刻生产工艺》酸碱溶液的添加数 量,由制造部添加, 添加完后,再由品管部检测浓度,若槽液之酸 碱浓度符合规格要求后,方可蚀刻.否则,再重复上述步骤。 (3) 纯水:检测按 ITO 蚀刻生产工艺要求检测,符合要求则可 生产。 7.2.蚀刻首件确认: (1) 严格按工程规格书之要求进行检查: a. 外观:蚀刻的材料分 Film 和 Glass 两种,蚀刻后 Film 和 Glass 之 保留图案正确,其蚀刻区应无污渍、水渍,导电膜应无折伤、刮花,蚀 刻区无残留的耐酸油墨,导电面干净,无杂质,导电膜无脱落。 b. 电气性能:蚀刻后的Film和Glass各导电膜之电阻符合工程规 格书要求,蚀刻区各导电膜间阻抗100MΩ, 100V。 c. 导电膜电阻:需按《工程规格书》要求.(用万用表测试)。 (2) 首件由ITO 机手制做完成后并自检，同时在首件记录单上签名以 示完成首件制做, 制程品管人员需审核首件,并签名确认后方可 投产。 (3) 遇大批量之机种蚀刻时,蚀刻过程中,制程人员与生产人员应随 时与首件核对,防止中途遇变,影响品质。 检验项目： 1、外观检验: （光台目测） 1、蚀刻风干后的材料无变形无刮花、折伤 2 、导电面无刮花、水渍、污点 3、蚀刻干净无蓝点 4 、GLASS 透明度良好，蚀刻面正确 5、监督生产工艺参数及相关文件规定 （温度、风干段速度、酸碱浓 度） 以实际生产时的相关参数与相关文件参数对比,看是否符合! 2、电气性能：（方阻仪 万用表） 1）用万用表检查材料蚀刻区是否蚀刻干净，方法是：红黑表笔尽量 靠近，但不能接触各导面膜，导面膜间阻抗=100MΩ100V 2 ）万用表测量最长线的回路阻值符合《工程规格书》要求 3 、蚀刻液浓度检测：（滴定台） 每次开机蚀刻前须由实验人员检测酸碱度是否符合要求,并由品管 人员核对，若不符要求,必须按照工艺要求添加酸碱量, 蚀刻中途操作 人员须定时抽测酸碱度以保证酸碱度符合要求。 （操作人员定时抽 检酸碱浓度,并及时与叫品管人员确认酸碱浓度是否符合要求 ）