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使用 ISE-TCAD对ESD器件
的设计验证
主讲人:马飞
2012.10.10
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课程内容
●ESD及 ISE-TCAD简介
工艺部分仿真(Dios)
DESSIS仿真模型的选取
●热边界条件的设定
●ESD器件仿真中收敛性问题
些对关键性能有影响的关键参数
●二次击穿电流的仿真
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电路中的ESD防护
ESD sensitive parts
aum tapah
input buffer
output driver
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ESD防护器件
二极管
坚
GGNMOS
Vsp
SCR
Anode
R(N-well)
P+N+
P- Substrate
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设计窗口
ESd desig
window
Eo
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ISE-TCAD简介
由瑞士|SE公司开发,已经被 SYNOPSYS
公司收购,并入新版的 SENTAURUS
包括平台工具( GENESISe)、工艺仿真
工具(DOS)、器件结构生成工具( Draw)和
电磁仿真工具( DESSIS)、曲线显示工具
(INSPECT)
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Dios-MDraw-Dessis
command boundar
Dios dio. cmd
commandiparameter
mdr. cmd
uc bnd
des .cnd
IaIne-pa1
器HDav
Dessin
mdr . dat
des. dat
大 dio.dat. gz
grd. dat.gz
dr log
des log
进入| SE-TCAD
nafsZUEDA6 -]$
t/deno/tcad
to an invalid directory
Done
GENESTSe
-]S CENESI Se
et IsEe to a valia directory, where your projecte reade
第8页/共99
GENES|Se操作界面
项目编辑环境
菜单
GENESISemZUEDA6 v10, D-/home/maf/cad/mp/
“翻盯ˇ■等气叹园回
仿真工具菜单
ammy Tree
project---new project
右键 [family tree--add选择工具
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课程内容
●ESD及 ISE-TCAD简介
●工艺部分仿真(Dios)
● DESSIS仿真模型的选取
热边界条件的设定
●ESD器件仿真中收敛性问题
●一些对关键性能有影响的关键参数
●二次击穿电流的仿真
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