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ESD
※举 NEW STAFF TRAINNING
质量组织
中哈中哈咔哈咔哈中窄字中咔咔哈
2010年4月29日
Company Confidentia
●●●●质量组织
目录
静电基本概念
2电子工业中静电问题
3
静电防护原理
防静电工作区
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1.1人类对静电的认识
千百年前」静电对人类来说是非常神秘的
发明火药后
静电对火药制造行业不再神秘;美国独立战争期间,火药是
在有潮湿的泥墙和泥地的房子里制造的
和50年代‖在塑料和胶片制造行业,发现静电问题
50和60年代
在电子行业,出现静电问题。常常发生奇怪的失效,在光学
显微镜下看不到失效原因。失效分析的结论是原因不明
M0S晶体管的普及和IC的发展使静电问题加剧;IC的凡何尺
寸缩小使问题更糟;真正的突破是半导体领域扫描电子显
70年代
徽镜的应用(70年代后期),第一次即使最小的ESD损伤也
能看到;1979年,E0S/ESD研讨会成立,主要研究ESD问题
寻求解决方法
80年代初期,多数主要的电子制造商建立了他们的ESD组织
80年代
负责ESD问题;E0S/ESD也许是当今电子制造行业最主要
的失效机理
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12静电相关知识
静电定义
静电( Electrostatic Static electricity)通俗说,就是静止不动的电荷
它一般存在于物体的表面,是正负电荷在局部范围内失去平衡的结果
静电是通过电子或离子转移而形成的,可由物质的接触和分离、静电感应、
介质极化和带电微粒的附着等物理过程而产生
Triboelectric Charge
Triboelectric Charge
中
Net aO
Creating electrostatic charge by contact and separation of materials is known astriboelectric charging
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12静电相关知识
静电的产生
通常任何物体所带有的正负电荷是等量的,当与其他物体摩擦,接触,并由于
机械作用分离时,因两种物体摩擦起点序列不同,在一种物体上积聚正电荷,
另种物体积聚负电荷,在各物体上产生静电,在外部产生静电场
起点方式:物体相互摩擦,电效应,压电效应,导体(或电介质)的静电感应
静电
静电场( Elect ro- Static Field)
不同静电电位的静电充电表面和另一个表面之间的电压变化
静电效应
静电荷所产生的静电场对电子工业影响最大的三种物理效应
静电荷产生的电场力
静电放电(ESD
静电感应
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12静电相关知识
静电放电
静电的放电( Electro- Static discharge)
由于直接接触或静电场的作用,在不同的靜电电位之间充电即静电转移。如接
触放电、空气放电。一般来说,静电只有在发生静电放电时,才会对元器件造
成伤害和损伤。如人体带电时只有接触金属物体、或与他人握手时才会有电击
的感觉
静电放电形式
对敏感器件直接放电:人或带电材料直接将静电荷传递給敏感器件造成静
电放电,是最普遍的放电形式
器件内部放电:器件或设备内部积聚的静电电荷在其自身比较脆弱的部分
放电,造成器件损坏。
场感应放电:在静电场中放置的敏感器件,由于静电场的诱导造成放电
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12静电相关知识
静电放电失效模式
突发性失效
指元器件受到静电放电损伤后,突然完全丧失其规定的功能,主要表现为
开路、短路或参数严重漂移
潜在性失效
指静电放电能量较低,仅在元器件内部造成轻微损伤,放电后器件电参数
仍然合格或略有变化
七失效模式分析
潜在性失效比突发性失效具有更大的危险性,主要原因
〉方面一:潜在失效难以检测、而器件在制造和装配过程中受到的潜在静电
损伤会影响它装入整机后的使用寿命
方面二:静电损伤具有积累性,即使一次静电放电未能使器件失效,多次
静电损伤累积起来最终必然使之完全失效。
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12静电相关知识
常见物体带电顺序表
序号
材料
序号
材料
序号
材料
正电荷方向↑
羊毛
16
硬橡皮
空气
丝绸
17
1234567
人的手
10
黄铜、银
兔毛
19
聚酯人造纤维
玻璃
12
棉布
聚乙烯
云母
13
钢
21
聚丙烯
头发
木材
聚氯乙烯(PVC)
尼龙
琥珀
负电荷方向↓
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12静电相关知识
静电和环境湿度的关
静电的产生及其大小与环境湿
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