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西安理工大学硕士学位论文
显微镜测量工件的表面形貌,结果表明,仿真与实际测量的误差小于7.82% 。
关键词:纵向位移;纵向切割力;往复式金刚石线锯切割;工件表面形貌;同步测量
本论文研究得到国家自然科学基金项目 “SiC 单晶强等离子体超声微细切割机理及
参数控制”),陕西省自然科学基金项目 “微弧放电抛光设备的研制与推广”
(2019CGXNG-022 )的资助。
II
目 录
目 录
1 绪论…………………………………………………………………………………………... 1
1.1 本课题的研究背景 1
1.2 硬脆材料的切割方法分类2
1.2.1 金刚石圆片锯切割技术3
1.2.2 电火花线切割技术4
1.2.3 带锯切割技术5
1.2.4 金刚石线锯切割技术5
1.2.5 超声振动复合线锯切割7
1.3 固结磨料金刚石线锯切割技术的研究现状7
1.4 金刚石线锯切割力的研究现状 8
1.5 本文研究内容9
2 往复式金刚石线锯的纵向运动分析与建模 11
2.1 往复式线锯的纵向运动来源分析 11
2.1.1 往复式金刚石线锯坐标系的建立 11
2.1.2 往复式金刚石线锯纵向速度的推导 13
2.2 线锯空载时的纵向运动分析建模 15
2.2.1 线锯空载时的纵向运动分析 15
2.2.2 线锯空载时的纵向运动建模 18
2.2.3 线锯空载时的纵向位移测量实验20
2.3 线锯切割工件时的纵向运动分析与建模26
2.3.1 线锯切割工件时纵向运动分析26
2.3.2 线锯切割工件时的纵向运动建模27
2.3.3 线锯切割工件时纵向位移实验27
2.3.4 数值仿真与实验对比30
2.5 本章小结30
3 基于LabVIEW 的线锯纵向位移与线锯速度同步测量的实现31
3.1 同步测量的仪器介绍31
3.1.1 数据同步采集的传感器31
3.1.2 同步测量的开发环境34
3.2 同步原理介绍35
3.3 同步的实施过程37
3.3.1 位移数据接入NI-DAQmx 6358 采集系统37
I
西安理工大学硕士学位论文
3.3.2 设置位移数据采集参数 38
3.3.3 在LabVIEW 上实现位移数据采集 39
3.3.4 编程实现同步测量 40
3.3.5 实施同步测量 40
3.4 同步实验验证 41
3.4.1 非同步测量实验 41
3.4.2 同步测量实验 43
3.4.3 同步与非同步测量结果对比 44
3.5 本章小结 44
4 金刚石线锯切割纵向切割力的分析与建模 45
4.1 金刚石线锯切割纵向切割力的分析 45
4.2 金刚石线锯纵向切割力建模 45
4.2.1 单颗磨粒压力建模 45
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