脉冲涡流法方块电阻仪的设计.pdf

摘 要 电 导电性能的 键 ,通 法 方 阻是用来评 半导体 料 关 参数 常 用接触式的四探针方 块 价 材 采 量,对 品 ,不 于 导体晶片的 量 。 涡流 测 表面具有破坏性 利 半 质 控 而 统的非接触式 方 样 制 传 温 ,影响了测量的准 。 比 ,非 触式的脉冲 电阻测量法 引起 测物体 升高 确性 相 较 接 块 会 被 度 法 量 。 此,本文 用 式的 原理,设计 流 电阻 量 可 测 为 采 非接触 脉冲检测 了 涡 方块 测 提高 精度 一 基 ARM内 sTM32芯 式的脉冲涡流方 电 器,涉 量探 、 款 于 核的 片便携 块 阻检测仪 及测 头 、 、 显 电 ,以 理 理电 电 和电源 路等的硬 电 计 相配 的处 探头电路 单片机处 路 示 路 件 路设 及 套 软件设计。主要研究工作及成果如下: 1.从 ,分 。 PsPICE仿 ,确 流 测理论出 析 了脉冲涡流检测原理 通过 真 定 了 脉冲涡 检 发 ,并 出 涡流 测 电 电 电压与 电阻的 电 电 了脉冲 检 方块 阻的 容 方块 脉冲涡流 测 路的 路参数 得 检 曲 。 关系 线 2.通 。 匝 、 法 参 进 线圈 数 过 法 脉 涡流 检测探头 数 行 了优化设计 仿真分析 了 限 方 对 冲 有 元 、 、 。 匝 、 距 磁 密 磁 强 的 响 终 优化后的