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洁净车间环境临测
温湿度、压差风速
尘埃粒子、沉降菌、
浮游菌
洁净车间环境监测分类及监测结果标准
试剂生产部「
温湿度、压差、
风速
监测分类
质量管理部尘埃粒子、沉降菌、
浮游菌
十万级洁净室参数标准
房号
项目
控制要求
18℃28C
相对湿度
45-65%
洁净室(区)相对室外大气的静压差应≥l0pa
压差
空气洁净级别不同的洁净室(区)之间的静压差应≥5帕
人流和物流通道应是从外向内压差逐步增加
≥05um
≥5um
4尘埃粒子
500,000个/m
沉降菌/皿
10
6浮游菌/m3
500
7换气次数/h
215
标准规定
温度为18~28C、相对湿度为45%~65%
监测时间
净化空凋系统正常运行于30mn以后开始
监测工具
指针式温湿度计,温度精度为1℃,湿度精度为1%
温湿度
监测人员
洁净室生产操作员
洁净室各区域
监测频次
2次天
社京语品仅《开中
监测位置
空气洁净级别不同的相邻房间
洁净区(室)内外
监测标准
监测时间
争化空调系统正常运行于30min以后开始
压差
监测工具
监测人员
净室生产操作员
监测频颎次
监测状态
动态测试
注意:洁净区所有的门应关闭,测试时不允许有人穿越房
间,微压表示数稳定后再读数。测试过程必须在达到平衡
状态后进行。
当洁净室压差不足时,应及时报告,立即调查原因,按照
《空气净化系统使用标准操作规程》(NOV-S-z」-Ⅲ
014)进行必要的调整,应检查洁净室密闭性或更换初、
中效过滤器或适当加大新风阀开度,以提高总送风量和新
风量,保证洁净区(室)压差合格。
1定义
尘埃粒子,一般指悬浮于空气中的固态和液态微粒。
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