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三 Beijing BOE Optoelectronics Technology CO, LTD 洁净间相关介绍 2013.01.07 用心提升自我,用心提升团队 动力技术部 c Copyrigh 目录 1.洁净室 2清净室的四大技术要素 3洁净室的分类 4. BOE OT洁净室结构类型 5.洁净室管理项目 6清净室空调负荷计算 7清净室的设计和节能 821 用心提升自我,用心提升团队动力技术部 1、洁净室 11洁净室的概念 对空气中的浮游粒子在规定的洁净度进行管理以及对供给的原材料、附材、药品、 水、人员等进行洁净度管理,对温度/湿度/压力/气流等也进行管理的空间 1.2洁净室控制参数 温度,湿度洁净度,菌落数(制药车间用),压力,静电微振,照度,噪音,风量 ■13洁净室的三个平衡 风量平衡 压力平衡 热湿互补平衡 ■14相关术语 14.1粒子pa 应径阀值(下限)范围内累计的固体或液体物质 用心提升自我,用心提升团队动力技术部 1、洁净室 14.2粒径 particle size 给出的粒径测量仪器显示的、与被测粒子的响应量相当的球形体直径 143洁净区 clean zone 空气悬浮粒子浓度受控的专用空间,其建造和使用方式使区内进入的、产生的 留的粒子最少,区内温度、湿度、压力等其他参数按要求受控 144换气次数 air exchange rate 单位时间的换气值,以单位时间送入的空气体积除以空间的体积计算 14.5平均风量 average air flow rate 单位时间内通过的平均空气体积,可据此确定洁净室或洁净区的换气次数 146送风量 supply airflow rate 单位时间内从末端过滤器或风管送入设施的体积空气量 147单向流 unidirectional airflow 区整个断面、风速稳定、大致平行的受控气流。 148污染物 contaminant 和艺有不良影响的颗粒物、非颗粒物、分子或生命体 8≥1 用心提升自我,用心提升团队动力技术部 1、洁净室 15洁净室三种状态 空态:洁净室的所有相关设施均已安裝好,可以投入运 行 但室内没有生产设备及生产人员 静态:洁净室的所有相关设施都在工作,生产设备安装完毕并在运 室内无工 作人员在场 动态:洁净室的全部设施处于正常运行,洁净室内的设备 正常运转,人员在履行其工作职责 16不同洁净等级之间不能连通 密闭 Partition隔开 压差控制 相差5Pa以上,一般在5~8Pa 相差20Pa以上开门困难,并引起振动和噪音 ●置换气流风量控制 用心提升自我,用心提升团队动力技术部 2、洁净室的四大技术要素 洁净室的四大技术要素 1、送风至少经过三级过滤(粗效、中效和高效),并且高效过滤 器应设置在系统的未端。 2、洁净室应有足够的净化和空调的送风量 3、洁净室应维持必要的压力梯度(正压梯度或负压梯度)。 4、洁净室应有合理的气流组织 用心提升自我,用心提升团队动力技术部 3、洁净室的分类 3.1、按气流流型洁净室的分类 单向流洁净室 非单向流洁净室 混合流洁净室 矢流洁净室 311单向流(层流)洁净室,其中又分垂直单向流洁净室和水平单向流洁净室。 第直单流 (b)水平向流 用心提升自我,用心提升团队动力技术部 3、洁净室的分类 单向流气流的净化原理是活塞和挤压原理,把灰尘从一端向另一端挤压出去,用洁净气 流置换污染气流。包括有垂直单向流和水平单向流 垂直单向流是气流以一定的速度(0.25m/s^0.5m/s)从顶棚流向地坪的气流流型。这种 气流能创造100级、10级、1级或更高洁净级别。但其初投资很高、运行费很高,工程中尽 量将其面积压缩到最小,用到必须用的部位。 水平单向流是气流以一定的速度(0.3m/s^0.5m/s)从一面墙流向对面的墙的气流流型 该气流可创造100级的净化级别。其初投资和运行费低于垂直单向流流型 312非单向流洁净室 非单向流洁净室的气流流型又可分为顶送下回;顶送下侧回;顶送顶回等 (顶送下侧国 (c)顶送顶回 用心提升自我,用心提升团队动力技术部 3、洁净室的分类 单向流气流的净化原理是稀释原理。一般型式为高效过滤器送风口顶部送风;回风 的型式有下部回风、侧下部回风和顶部回风等。依不同送风换气次数,实现不同的净化级 别,其初投资和运行费用也不同 31.3混合流洁净室 混合流气流是将垂直单向流和非单向流两种气流组合在一起构成的气流流型。这种气 流的特点是将垂直单 积压缩到最小,用大面积非单向流替代大面积单向流以利节省 初投资和运行费 用心提升自我,用心提升团队动力技术部 3、洁净室的分类 3.14矢流(对角流)洁净室 选上侧圆弧型高效过滤器风口送风,对侧下回风口回风的气流流型。 矢流洁净室的气流是以放射型的流线