GB/T 38976-2020硅材料中氧含量的测试　惰性气体熔融红外法.pdf

犐犆犛７７．０４０ 犎 １７ ／ — 犌犅犜３８９７６ ２０２０ — 犜犲狊狋犿犲狋犺狅犱犳狅狉狋犺犲狅狓 犲狀犮狅狀犮犲狀狋狉犪狋犻狅狀犻狀狊犻犾犻犮狅狀犿犪狋犲狉犻犪犾狊 狔犵 犐狀犲狉狋犪狊犳狌狊犻狅狀犻狀犳狉犪狉犲犱犱犲狋犲犮狋犻狅狀犿犲狋犺狅犱 犵 ２０２００７２１ ２０２１０６０１ ／ — 犌犅犜３８９７６ ２０２０ 前 言 　　 本标准按照 ／ — 给出的规则起草。 ＧＢＴ１．１ ２００９ 　　 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（ ／ ）与全国半导体设备和材料标准 ＳＡＣＴＣ２０３ 化技术委员会材料分技术委员会（ ／ ／ ）共同提出并归口。 ＳＡＣＴＣ２０３ＳＣ２ ： 、 、 、 本标准起草单位 有研半导体材料有限公司 上海合晶硅材料有限公司 有色金属技术经济研究院 北京聚睿众邦科技有限公司、厦门银固美能源科技有限公司。 ： 、 、 、 、 、 、 、 、 、 。 本标准主要起草人 王永涛 孙燕 徐新华 胡金枝 任丹雅 赵志婷 蔡丽艳 杨素心 陆敏 林兴乐 Ⅰ ／ — 犌犅犜３８９７６ ２０２０ 硅材料中氧含量的测试 惰性气体熔融红外法 １ 范围 　 本标准规定了采用惰性气体熔融及红外技术测试硅材料中氧含量的方法。 、 、 ， 本标准适用于不同导电类型 不同电阻率范围的硅单晶 多晶硅中氧含量的测试 测试范围为